Regis (ระบบฉีดก๊าซรีแอคทีฟ) เป็นระบบปฏิกิริยาเคมีที่ใช้เทคโนโลยีพลาสมาระยะไกลเพื่อเพิ่มอายุการใช้งานของปั๊ม
Regis รุ่นล่าสุดมีการออกแบบห้องปฏิกิริยาที่ไม่เหมือนใครที่ช่วยให้มั่นใจได้ว่าก๊าซในกระบวนการจะเกิดปฏิกิริยาอย่างมีประสิทธิภาพก่อนเข้าสู่ปั๊ม ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานของปั๊มให้นานกว่า 300 วัน
เมื่อเปรียบเทียบกับ Regis รุ่นก่อนหน้านี้ พื้นที่ติดตั้งลดลง 26.5% ระบบ Regis ใหม่ที่มาพร้อมกับปั๊มสุญญากาศแบบแห้งสําหรับงานหนักจะให้เวลาทํางานของปั๊มและความเสถียรของกระบวนการสูงสุดสําหรับกระบวนการต่างๆ
คุณสมบัติและประโยชน์
- ต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ํา:
ReGIS ช่วยยืดอายุการใช้งานของปั๊มได้ถึง 300 วันขึ้นไป
การไหลของ NF3 ที่เหมาะสมที่สุดโดยใช้การศึกษา FTIR เพื่อลด CoO
ประสิทธิภาพของปฏิกิริยาเพิ่มขึ้น 100% เนื่องจากการออกแบบห้องปฏิกิริยาใหม่
- เพิ่มเวลาทํางานของเครื่องมือสูงสุด:
การทํางานต่อเนื่องแบบออนไลน์
ลดเวลาหยุดทํางานของเครื่องมือเนื่องจากการเปลี่ยนปั๊มบ่อยครั้ง
- ระบบที่ปิดสนิทพร้อมพอร์ตการดูดควันในตู้
- ควบคุมด้วย PLC:
ความสามารถในการจุดระเบิดพลาสมาของเครื่องมือควบคุมสัญญาณ ReGIS
เพิ่มความปลอดภัย
การตรวจสอบระบบแบบเต็มรูปแบบ
- ช่วยให้กระบวนการมีความเสถียร:
ไม่มีการสูญเสียประสิทธิภาพ
ไม่มีการเปลี่ยนแปลงการนําไฟฟ้า
Edwards รีจิส