A Regis (reaktív gázbefecskendező rendszer) egy kémiai reakciórendszer, amely távoli plazmatechnológiát használ a szivattyú élettartamának növelésére.
A legújabb generációs Regis egyedülálló reakciókamra-kialakítással rendelkezik, amely biztosítja a folyamatgázok hatékony reakcióját a szivattyúba történő belépés előtt, meghosszabbítva a szivattyú élettartamát több mint 300 napra.
Az előző generációs Regis rendszerhez képest a helyigény 26,5%-kal csökkent. Az új Regis rendszer nagy igénybevételre tervezett száraz vákuumszivattyúkkal párosítva maximális rendelkezésre állást és folyamatstabilitást biztosít számos folyamat esetében.
Funkciók és előnyök:
- Alacsony üzemeltetési költségek:
A ReGIS meghosszabbítja a szivattyú élettartamát legalább 300 napra
Optimalizált NF3-áramlás FTIR-vizsgálatokkal a CoO minimalizálása érdekében.
A reakció hatékonysága 100%-kal nőtt az új reakciókamra-kialakításnak köszönhetően.
- Maximális rendelkezésre állás:
Folyamatos online működés.
Csökkentett szerszámleállás a gyakori szivattyúcserék miatt.
- Teljesen zárt rendszer szekrény-elszívó nyílással.
- PLC-vezérelt:
Szerszámjel-vezérlő ReGIS plazmagyújtó képesség.
Fokozott biztonság.
Teljes rendszerfelügyelet.
- Lehetővé teszi a folyamatstabilitást:
Nincs teljesítményveszteség.
Nincs változás a vezetőképességben.
Edwards Regis