ประสิทธิภาพด้านสุญญากาศและประสิทธิภาพด้านพลังงานที่เหนือกว่า
ระบบปั๊มแช่แข็ง CTI-Cryogenics IS ของ Edwards ใช้ประโยชน์จากนวัตกรรมเทคโนโลยีประสิทธิภาพสูงเพื่อมอบประสิทธิภาพสุญญากาศและประสิทธิภาพด้านพลังงานที่เหนือกว่า
ระบบควบคุมแบบกระจายที่จดสิทธิบัตรจะตรวจสอบและปรับองค์ประกอบแต่ละอย่างของระบบปั๊มแช่แข็งอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาประสิทธิภาพสุญญากาศที่เหมาะสมที่สุดทั่วทั้งระบบเพื่อความสม่ําเสมอของกระบวนการที่ยอดเยี่ยม ปั๊มแช่แข็ง On-Board IS ให้เวลาทํางานสูงสุด ผลผลิตที่ดีที่สุด และต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของต่ําที่สุดของระบบปั๊มแช่แข็งใดๆ ที่มีอยู่ในปัจจุบัน ซึ่งได้รับการสนับสนุนจากเครือข่ายบริการและการสนับสนุนทั่วโลกที่ตอบสนองอย่างรวดเร็วของ Edwards
IS XP
ปั๊มแช่แข็ง On-Board® IS XP ให้ความจุที่เพิ่มขึ้นสําหรับการใช้งาน PVD เพื่อให้ได้ผลผลิตสูงสุดในขณะที่ยังคงความโปร่งใสของกระบวนการ ในขณะเดียวกัน ยังใช้ประโยชน์จากประสิทธิภาพด้านพลังงานที่ผ่านการพิสูจน์ ประสิทธิภาพที่สม่ําเสมอ และต้นทุนการเป็นเจ้าของที่ต่ําตามที่คุณคาดหวังจาก On-Board® IS
- ให้ความจุค่าใช้จ่ายเพิ่มเติมสําหรับการปรับปรุงกระบวนการในอนาคต
- ต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ํา
- เพิ่มเวลาทํางานของเครื่อง
- เทคโนโลยี "ปรับตัวเอง" อัจฉริยะเพื่อประสิทธิภาพสุญญากาศที่สม่ําเสมอ
ปั๊มแช่แข็ง IS 320FX
ปั๊มแช่แข็ง On-Board® IS 320FX ที่พัฒนาขึ้นโดยเฉพาะเพื่อรับมือกับความท้าทายของกระบวนการปลูกถ่ายไอออนในปัจจุบัน ให้ความเร็วและความจุในการปั๊มไฮโดรเจนที่เพิ่มขึ้น ในขณะที่คงคุณภาพ ประสิทธิภาพ และความน่าเชื่อถือที่คุณคาดหวังไว้
- ออกแบบมาโดยเฉพาะสําหรับการใช้งานการปลูกถ่ายไอออน
- ปรับให้เหมาะสมกับรอบการทํางานของเครื่องมือ
- เทคโนโลยีอัจฉริยะ "ปรับตัวเอง
- ต้นทุนการเป็นเจ้าของต่ํา
- ระยะเวลาที่เครื่องทำงานเพิ่มขึ้น
ปั๊มแช่แข็ง On-Board® IS 320F XVS
ประสิทธิภาพของปั๊มแช่เย็นในระดับใหม่
ปั๊มแช่แข็ง CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F รักษาประเพณีของ Edwards ในการส่งมอบปั๊มแช่แข็งแบบฝังที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพดีที่สุดในตลาด
