เร่งการผสานรวมและปรับปรุงการทํางานของระบบ
ปั๊มสุญญากาศ CTI-Cryogenics On-Board ของ Edwards ช่วยเร่งความเร็วในการผสานรวมและปรับปรุงการทํางานของระบบ ซึ่งเป็นที่รู้จักกันในฐานะมาตรฐานระดับโลกด้านความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพ
ปั๊มแช่เย็นแบบออนบอร์ดที่มีการควบคุมแบบบูรณาการเต็มรูปแบบและอุปกรณ์ต่อพ่วงที่รองรับ ให้เวลาทํางานที่เหนือกว่าและประสิทธิภาพที่สม่ําเสมอเพื่อเพิ่มผลผลิตเครื่องมือโดยรวมและเวลาทํางาน
คุณสมบัติหลัก
- ความสามารถของ Fast Regen™ ที่ขยายประสิทธิภาพของปั๊มแช่แข็งระหว่างการปรับสภาพ
- ความสามารถในการกลับคืนสู่สภาพเดิมพร้อมกัน ซึ่งสามารถทําได้โดยการเชื่อมต่อเครือข่ายปั๊มแช่แข็งของคุณ ซึ่งช่วยเร่งการกลับคืนสู่สภาพเดิมของระบบโดยรวม
- การควบคุมไมโครโปรเซสเซอร์ในตัวเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพ ดําเนินการวินิจฉัยเป็นประจํา และให้ความสามารถในการสื่อสาร
- ซอฟต์แวร์ที่ซับซ้อนและอินเทอร์เฟซผู้ใช้แบบกราฟิกที่ใช้งานง่ายเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพและการทํางานได้อย่างมาก
- ข้อมูลจําเพาะของผลิตภัณฑ์
| รุ่นปั๊มแช่แข็งแบบออนบอร์ด | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| ความเร็วในการปั๊ม - ลิตร/วินาที | ||||||||
| ไอน้ํา/ไอน้ํา | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| อากาศ | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| ไฮโดรเจน | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| อาร์กอน | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| ความจุ - ลิตรมาตรฐาน | ||||||||
| อาร์กอน | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| ไฮโดรเจน (5x10 -6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| เวลาการกลับคืนสู่สภาพเดิมที่กําหนด (เย็นถึงเย็น) | ||||||||
| ขั้นตอนที่หนึ่งและขั้นตอนที่สอง | 75 นาที | 2.5 ชม. | 2.5 ชม. | 2.5 ชม. | 2.5 ชม. | <3.3 ชม. | 3 ชม. | <3.8 ชม. |
| ขั้นตอนที่สอง | <1 ชม. | <1 ชม. | <1 ชม. | <1 ชม. | <1 ชม. | <1.5 ชม. | <1.5 ชม. | - |
