Regis (Sistem Suntikan Gas Reaktif) adalah sistem tindak balas kimia, menggunakan teknologi plasma jauh untuk meningkatkan jangka hayat pam.
Generasi terbaru Regis menampilkan reka bentuk ruang tindak balas unik yang memastikan gas proses bertindak balas dengan cekap sebelum memasuki pam, memanjangkan jangka hayat pam sehingga lebih daripada 300 hari.
Berbanding dengan generasi Regis sebelumnya, jejaknya telah dikurangkan sebanyak 26.5%. Sistem Regis baru yang digabungkan dengan pam vakum kering siri tugas berat, menyediakan masa operasi pam maksimum dan kestabilan proses untuk beberapa siri proses.
Ciri-ciri dan manfaat:
- Kos pemilikan yang rendah:
ReGIS memanjangkan jangka hayat pam sehingga 300 hari atau lebih
Aliran NF3 yang dioptimumkan menggunakan kajian FTIR untuk meminimumkan CoO.
Kecekapan tindak balas meningkat sebanyak 100% disebabkan oleh reka bentuk ruang tindak balas baru.
- Memaksimumkan masa operasi alat:
Operasi berterusan dalam talian.
Masa henti alat dikurangkan disebabkan oleh pertukaran pam yang kerap.
- Sistem tertutup sepenuhnya dengan port pengekstrakan kabinet disertakan.
- Kawalan PLC:
Kawalan Isyarat Alat Keupayaan Penyalaan Plasma ReGIS.
Keselamatan Dipertingkatkan
Pemantauan sistem penuh.
- Membolehkan kestabilan proses:
Tiada kehilangan prestasi.
Tiada perubahan dalam konduktans.
Edwards Regis