Regis (Reactive Gas Inject System) är ett kemiskt reagerande system som använder fjärrplasmateknik för att öka pumpens livslängd.
Den senaste generationen Regis har en unik reaktionskammare som säkerställer att processgaserna reagerar effektivt innan de kommer in i pumpen, vilket förlänger pumpens livslängd till mer än 300 dagar.
Jämfört med föregående generation av Regis har fotavtrycket minskat med 26,5 %. Det nya Regis-systemet i kombination med torra vakuumpumpar i den tuffa serien ger maximal pumpdrifttid och processtabilitet för en rad olika processer.
Egenskaper & fördelar:
- Låg ägandekostnad:
ReGIS förlänger pumpens livslängd till 300 dagar eller mer
Optimerat NF3-flöde med hjälp av FTIR-studier för att minimera CoO.
Reaktionseffektiviteten har ökat med 100 % tack vare den nya reaktionskammarens utformning.
- Maximerar verktygets drifttid:
Kontinuerlig onlinedrift.
Minskad stilleståndstid för verktyget tack vare frekventa pumpbyten.
- Helt inkapslat system med skåpextraktionsport ingår.
- PLC-styrd:
Verktygssignalstyrning ReGIS Plasmatändningsförmåga.
Förbättrad säkerhet.
Fullständig systemövervakning.
- Möjliggör processtabilitet:
Ingen prestandaförlust.
Ingen förändring av konduktansen.
Edwards Regis