Proteus ของ Edwards
Edwards Proteus ช่วยให้การบําบัด PFC และก๊าซร้อนทั่วโลกอื่น ๆ มีประสิทธิภาพโดยไม่ต้องใช้ก๊าซธรรมชาติหรือไฮโดรคาร์บอนอื่น ๆ
Proteus เป็นโซลูชันที่ใช้พลังงานต่ํา ใช้งานง่าย และคุ้มค่าต่อการลงทุน เพื่อลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- เทคโนโลยีพลาสมาประสิทธิภาพสูงที่ใช้พลังงานต่ํา
- การปรับกําลังพลาสมา
- การปล่อย NOx ต่ํา
- MTBS ยาว
- การปกป้องเวลาทํางานของเครื่องด้วย Proteus Dual
- เทคโนโลยีพลาสม่าพลังงานต่ําที่เป็นเอกลักษณ์ที่ให้ประสิทธิภาพอัตราการทําลายสูง (DRE) ของก๊าซ PFC เช่น CF4 และก๊าซอุ่นโลกอื่น ๆ เช่น SF6, NF3 และ N2O ซึ่งทําให้ Proteus เป็นหนึ่งในโซลูชันที่คุ้มค่าที่สุดสําหรับการลดการปล่อยก๊าซเรือนกระจกจากกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- พลังงานในการทํางานของ Proteus Plasma สามารถปรับได้อย่างเต็มที่ตามปริมาณก๊าซที่เข้ามา ช่วยให้ผู้ใช้สามารถลดการใช้พลังงานและรักษาประสิทธิภาพการบําบัดที่เหมาะสม การเชื่อมต่อกับเครื่องมือในกระบวนการและการปรับพลังงานพลาสมาอัตโนมัติ มอบโอกาสเพิ่มเติมในการลดต้นทุนการดําเนินงาน ในขณะที่รักษาประสิทธิภาพด้านสิ่งแวดล้อมให้อยู่ในระดับสูงสุด
- การบําบัดก๊าซ PFC ต้องการอุณหภูมิสูงที่ส่งเสริมการก่อตัวของก๊าซ NOx เทคโนโลยีพลาสมา Proteus ได้รับการพัฒนาขึ้นเพื่อลดการปล่อย "NOx จากความร้อน" และปัจจุบันเป็นหนึ่งในระบบการลด PFC "NOx ต่ํา" ชั้นนํา
- การทําลายโมเลกุล PFC มีแนวโน้มที่จะเพิ่มปริมาณกรดโดยการสร้างสารประกอบที่เป็นพิษและกัดกร่อนที่ละลายน้ําได้ หัวเผาพลาสมา Proteus และขั้นตอนการขัดถูแบบเปียกได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อลดการกัดกร่อนของส่วนประกอบ เมื่อผสานกับความสามารถในการจัดการผงที่ยอดเยี่ยม Proteus สามารถบรรลุ MTBS ที่ยาวนานในขณะที่รักษาสภาพแวดล้อมการทํางานที่ปลอดภัยในโรงงานผลิต
- Proteus Dual นําเสนอโซลูชัน "สํารอง" ที่ผสานรวมอย่างสมบูรณ์แบบเพื่อช่วยให้มั่นใจได้ถึงความพร้อมใช้งานของการบําบัดโดยไม่จําเป็นต้องใช้ระบบท่อและอินเตอร์เฟซที่ซับซ้อน Proteus Dual เป็นโซลูชันที่คุ้มค่าและติดตั้งง่าย ซึ่งช่วยรักษาเวลาทํางานของกระบวนการ ลดพื้นที่ติดตั้งและค่าใช้จ่ายในการติดตั้ง ในขณะที่เพิ่มความปลอดภัยของโรงงานย่อย
