Regis (systém vstrekovania reaktívneho plynu) je chemicky reagujúci systém, ktorý využíva technológiu diaľkovej plazmy na predĺženie životnosti čerpadla.
Najnovšia generácia Regis sa vyznačuje jedinečným dizajnom reakčnej komory, ktorý zaisťuje efektívnu reakciu procesných plynov pred vstupom do čerpadla, čo predlžuje životnosť čerpadla na viac ako 300 dní.
V porovnaní s predchádzajúcou generáciou Regis sa pôdorysná plocha znížila o 26,5 %. Nový systém Regis v kombinácii so suchými vákuovými čerpadlami série pre náročné podmienky poskytuje maximálny čas prevádzky a stabilitu procesu pre sériu procesov.
Vlastnosti a výhody:
- Nízke prevádzkové náklady:
ReGIS predlžuje životnosť čerpadla na 300 dní alebo viac
Optimalizovaný prietok NF3 pomocou štúdií FTIR na minimalizáciu COO.
Účinnosť reakcie sa zvýšila o 100 % vďaka novému dizajnu reakčnej komory.
- Maximálna doba prevádzky:
Nepretržitá online prevádzka.
Kratšie prestoje náradia vďaka častým výmenám čerpadla.
- Úplne uzavretý systém s pripojením na odsávanie zo skrine.
- Riadenie PLC:
Riadenie signálu nástroja ReGIS schopnosť zapálenia plazmy.
Vyššia bezpečnosť
Kompletné monitorovanie systému.
- Umožňuje stabilitu procesu:
Žiadna strata výkonu.
Žiadne zmeny vodivosti.
Edwards Regis