Your browser is not supported

คุณใช้เบราว์เซอร์ที่เราไม่รองรับอีกต่อไป โปรดเลือกเบราว์เซอร์ที่รองรับต่อไปนี้เพื่อเยี่ยมชมเว็บไซต์ของเราต่อ

Search Edwards Vacuum
This website is translated with AI
edawrds-การผลิตถัดไป-5

ปั๊มรองจําเป็นต้องมีปั๊มหลักเพื่อ 'ไล่อากาศ' ในเบื้องต้นสําหรับการทํางาน และ/หรือเพื่อรองรับการทํางานอย่างต่อเนื่อง

มีปัจจัยหลายประการที่ต้องพิจารณาในการผสมผสานหรือ 'จับคู่' ปั๊มหลักและปั๊มรองอย่างถูกต้องเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่ปลอดภัยและเหมาะสมที่สุด

ทําไมการเลือกปั๊มร่วมกันที่ถูกต้องจึงสําคัญ

ผลที่ตามมาของการเลือกที่ไม่ถูกต้องอาจร้ายแรงได้ ตั้งแต่ปั๊มกระจาย "หยุดทํางาน" (และการปนเปื้อนน้ํามันที่สําคัญ) ไปจนถึงความร้อนสูงเกินของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์

ด้านล่างนี้จะอธิบายข้อกําหนดเหล่านี้โดยใช้ตัวอย่างทั่วไป

ปั๊มหลักและปั๊มรองใช้ทําอะไรบ้าง

ปั๊มสุญญากาศปฐมภูมิ (PP) คือปั๊มที่ระบายออกสู่ความดันบรรยากาศ

ซึ่งรวมถึงใบพัดโรตารี่ซีลน้ํามัน (OSRV) ไดอะแฟรม สโครล โรตารี่หลายจังหวะ ลูกสูบ สกรู และปั๊มวงแหวนน้ํา

ปั๊มรอง (SP) จําเป็นต้องมีการปล่อยอากาศออกจากปั๊มหลักเบื้องต้นและบางครั้งปั๊มรองอื่นๆ จนถึงแรงดันที่ต้องการก่อนการทํางาน

ตัวอย่างเช่น ปั๊มกระจายน้ํามัน (ODP), ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล (TMP), บูสเตอร์ไอน้ํา (VB), บูสเตอร์เชิงกล (MB), ปั๊มตัวดูดไอออน (IGP), ปั๊มระเหิดไทเทเนียม (TSP), ตัวดูดแบบไม่ระเหย (NEG), ปั๊มแบบเย็น ปั๊มแบบดึงโมเลกุล และปั๊มแบบคืนพลังงาน

ในบางกรณี จําเป็นต้องใช้ปั๊มสํารองเพื่อการทํางานอย่างต่อเนื่อง ซึ่งเป็นกรณีของปั๊ม ODP, TMP และ VB

ปัจจัยที่ต้องพิจารณาเมื่อจับคู่ปั๊มหลักกับปั๊มรอง

ในการจับคู่ PP และ SP มีหลายสิ่งที่ต้องพิจารณา:

  • เวลาเริ่มต้นในการปั๊มลงโดย PP จนถึงจุดที่ SP 'รับหน้าที่' กระบวนการปั๊ม ซึ่งมีความสําคัญเป็นพิเศษหาก SP เริ่มต้นในเวลาเดียวกันกับ PP และต้องถึงแรงดันที่กําหนดในเวลาที่กําหนดเพื่อป้องกัน SP ไม่ให้ 'หมดเวลา'
  • 'กระชาก' เริ่มต้นของการไหลของก๊าซและความดันสูงสุดเมื่อ SP เริ่มทํางาน ภาพด้านล่างแสดงให้เห็นว่าสโครล nXDS15i เป็น PP และ nEXT300D เป็น TMP รอง ปริมาณงานสูงสุดสอดคล้องกับการเพิ่มขึ้นของแรงดันเมื่อ SP 'รับหน้าที่' การปั๊ม
ตัวอย่างการผสมผสานปั๊มสุญญากาศ

ซึ่งจะทําให้เกิดการเพิ่มขึ้นที่สอดคล้องกันเป็น ~1.5 mbar ใน PP ดังที่แสดงด้านล่าง: 

ตัวอย่างปริมาณงานของปั๊มสุญญากาศแบบผสม
  • แรงดันสํารองสูงสุด (MBP) / แรงดันสํารองวิกฤติ (CBP) ไม่ควรเกิน ซึ่งจะจํากัดการไหลของก๊าซสูงสุด PP ต้องมีสมรรถนะความเร็วที่เพียงพอที่ความดันป้อนกลับที่ต้องการ แทนที่จะสมมติว่าความเร็วสูงสุด/ความเร็วที่กําหนดของ PP
  • ค่า MBP อาจถูกระบุโดยผู้ผลิตสําหรับอัตราการไหลเป็นศูนย์แทนที่จะเป็นอัตราการไหล
  • ความสะอาด (จําเป็นต้องใช้ปั๊มแห้งหรือไม่?).
  • PP จําเป็นต้องเข้ากันได้กับ SP หรือไม่
  • บรรยากาศตกค้างทั่วไปของ PP คืออะไร โดยเฉพาะเมื่อใช้ร่วมกับ TMP เกี่ยวกับการบีบอัด สิ่งนี้มีความสําคัญเนื่องจาก ตัวอย่างเช่น อัตราส่วนการบีบอัดที่ค่อนข้างต่ําของ TMP สําหรับ H2 อาจจํากัดความดันขั้นสุดท้ายที่บรรลุได้ หากความดันบางส่วนของ H2 ในปั๊มรองมีนัยสําคัญ

ดาวน์โหลดเอกสารการใช้งาน

ดาวน์โหลดเอกสารการใช้งานในรูปแบบ PDF

By submitting this request, Edwards Vacuum will be able to contact you through the collected information. More information can be found in our privacy policy.
พนักงานของ Edwards ยืนในทางเดินยิ้ม