EUV Vizeon คืออะไร
EUV Vizeon ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการในปัจจุบัน ในขณะที่รองรับแผนงาน EUV ของวันพรุ่งนี้ ด้วยการผสมผสานการสร้างสุญญากาศ การจัดการไฮโดรเจน การจัดการก๊าซไอเสีย และการควบคุมที่ประสานงานกันในแพลตฟอร์มแบบโมดูลาร์เดียว จึงช่วยให้ลูกค้าลดพื้นที่ติดตั้ง ลดการใช้สาธารณูปโภค และปรับปรุงความสามารถในการผลิตทั่วทั้ง EUV รุ่นปัจจุบันและอนาคต
การสนับสนุนโรงงานย่อยในตัวสําหรับเครื่องมือ EUV
EUV Vizeon ถูกติดตั้งในโรงงานย่อยและเชื่อมต่อโดยตรงกับเครื่องมือลิโธกราฟี EUV ด้านบน ไม่ใช่เครื่องมือลิโธกราฟีเอง แต่เป็นระบบสนับสนุนในตัวที่ช่วยให้เครื่องมือทํางานได้อย่างมีประสิทธิภาพ เชื่อถือได้ และปลอดภัย แพลตฟอร์มนี้ประสานงานการผลิตสุญญากาศ การจัดการไฮโดรเจน การจัดการก๊าซไอเสีย และการควบคุมระบบในสถาปัตยกรรมที่เหมาะสมที่สุดเดียว
EUV Vizeon สร้างขึ้นเป็นชุดโมดูลของแผ่นแบบบูรณาการ ผสมผสานปั๊มแห้งขั้นสูง บูสเตอร์ การจัดการก๊าซไอเสีย การเจือจางไฮโดรเจน และการควบคุมส่วนกลางเข้าด้วยกันในระบบที่ประสานงานกัน การออกแบบแบบแยกส่วนนี้ช่วยลดความซับซ้อนในการผสานรวมในพื้นที่การผลิตย่อยที่แคบ และให้โซลูชันที่ปรับขนาดได้ที่สอดคล้องกับความต้องการของกระบวนการและโรงงาน
EUV Vizeon ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองข้อจํากัดด้านพื้นที่ติดตั้งที่เข้มงวดของโรงงานชั้นนํา โดยมีความสูงลดลงน้อยกว่า 2 เมตรเพื่อให้เหมาะกับความต้องการของลูกค้าทั่วโลก ด้วยการลดพื้นที่และความสูงของโรงงานย่อยในขณะที่ยังคงประสิทธิภาพ ช่วยให้ลูกค้าใช้พื้นที่โรงงานอันมีค่าได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้น
ชมวิดีโอด้านล่างกับ Richard Salloum ผู้จัดการผลิตภัณฑ์อาวุโสสําหรับระบบรวม EUV จาก Edwards เพื่อเรียนรู้เกี่ยวกับ EUV Vizion และเทคโนโลยีที่เกี่ยวข้อง
คุณสมบัติและประโยชน์หลัก
- ใช้พื้นที่ติดตั้งน้อยลงเพื่อประสิทธิภาพของโรงงานที่ดีขึ้น
- ลดการใช้พลังงานและสาธารณูปโภค
- สร้างขึ้นสําหรับกระบวนการ EUV ที่มีไหลของไฮโดรเจนสูง
ใช้พื้นที่ติดตั้งน้อยลงเพื่อประสิทธิภาพของโรงงานที่ดีขึ้น
รอยเท้าของเครื่องมือกระบวนการลิโธกราฟี EUV มีผลกระทบโดยตรงต่อต้นทุนโรงงานและผลผลิตของโรงงาน สําหรับเครื่องมือประตู เช่น EUV อุปกรณ์ในโรงงานย่อยมักต้องพอดีกับเงาของเครื่องมือที่รองรับ เนื่องจากกระบวนการ EUV ต้องการสุญญากาศ ไอเสีย และโครงสร้างพื้นฐานรองรับมากขึ้น ประสิทธิภาพของพื้นที่จึงกลายเป็นสิ่งสําคัญ
ด้วยการผสานรวมฟังก์ชันที่สําคัญเข้ากับแพลตฟอร์มที่ประสานงานกันหนึ่งแพลตฟอร์ม EUV Vizeon ช่วยลดพื้นที่ติดตั้งในโรงงานย่อยโดยไม่ลดทอนประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยเพิ่มความยืดหยุ่นในการวางแผนโรงงาน รองรับการเติบโตของกําลังการผลิตในอนาคต และช่วยลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ
ลดการใช้พลังงานและสาธารณูปโภค
พลังงานที่จําเป็นในการสร้างการส่องสว่าง EUV สูงกว่าการพิมพ์ลิโธกราฟิกรุ่นก่อนหน้านี้อย่างมีนัยสําคัญ ซึ่งเพิ่มการตรวจสอบระบบรองรับทุกระบบในโรงงานผลิต ลูกค้ากําลังมองหาค่าใช้จ่ายสาธารณูปโภค ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม และประสิทธิภาพด้านพลังงานโดยรวมของอุปกรณ์เสริม เช่น ระบบสุญญากาศอย่างใกล้ชิด
ระบบ EUV Vizeon ของ Edwards ช่วยลดการใช้พลังงานของปั๊มลง 24% เมื่อเทียบกับแพลตฟอร์มก่อนหน้าของเรา โดยการใช้เทคโนโลยีล่าสุดจากปั๊มแห้งกําลังต่ําและบูสเตอร์ประสิทธิภาพสูงของเรา ผลลัพธ์ที่ได้คือระบบสนับสนุน EUV ที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น ซึ่งช่วยให้ลูกค้าลดต้นทุนการดําเนินงานในขณะที่สนับสนุนเป้าหมายด้านความยั่งยืน
สร้างขึ้นสําหรับกระบวนการ EUV ที่มีไหลของไฮโดรเจนสูง
แพลตฟอร์มแบบบูรณาการรุ่นที่ 4 ล่าสุดของเรา EUV Vizeon มอบประสิทธิภาพที่จําเป็นในการรักษาระดับสุญญากาศที่เสถียร ในขณะที่จัดการอัตราการไหลของไฮโดรเจนที่สูงซึ่งจําเป็นต่อกระบวนการ EUV ออกแบบมาโดยคํานึงถึงอัตราการไหลสูงสุด 1000 slm รองรับความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของทั้งผู้ใช้ปลายทางและ OEM ของเครื่องมือ EUV
EUV Vizeon สร้างขึ้นจากเทคโนโลยีสุญญากาศที่ผ่านการพิสูจน์แล้วและการผสานรวมระบบขั้นสูง ผสมผสานประสิทธิภาพการปั๊มที่แข็งแกร่งเข้ากับการจัดการและการควบคุมก๊าซที่ประสานงานกัน แนวทางระดับระบบนี้ช่วยรักษาความเสถียรของกระบวนการในปัจจุบันขณะที่สนับสนุนอนาคตที่คาดการณ์ได้ของโลโธกราฟี EUV
ออกแบบมาเพื่อเพิ่มเวลาทํางานสูงสุด
การลงทุนจํานวนมากที่จําเป็นสําหรับการพิมพ์ลิโธกราฟี EUV ทําให้ผู้ผลิตได้รับแรงกดดันอย่างมากในการเพิ่มความพร้อมใช้งานให้สูงที่สุดและบรรลุผลตอบแทนที่ยอมรับได้ จากมุมมองของโรงงานย่อย นั่นหมายความว่าการบํารุงรักษาต้องวางแผนให้สอดคล้องกับการบํารุงรักษาระบบ EUV ที่กําหนดไว้เมื่อใดก็ตามที่เป็นไปได้
เมื่อระบบ EUV เติบโตและช่วงเวลาการบํารุงรักษาลดลง การหยุดชะงักที่ไม่คาดคิดก็จะมีค่าใช้จ่ายสูงขึ้น EUV Vizeon ได้รับการออกแบบมาเพื่อความน่าเชื่อถือและความสามารถในการซ่อมบํารุง ดังนั้นการสนับสนุนสุญญากาศจึงไม่กลายเป็นปัญหาคอขวดในการผลิตเครื่องมือ
ระบบของเราประกอบด้วยปั๊มที่ถอดเปลี่ยนได้เมื่อร้อนเพื่อการสํารองข้อมูลที่ปลอดภัยจากความล้มเหลว และสามารถดําเนินการขั้นตอนการบํารุงรักษาที่สําคัญได้ในขณะที่ระบบยังคงออนไลน์อยู่
ข้อมูลล่าสุดยืนยันความพร้อมใช้งานเฉลี่ย 99.9% ทั่วทั้งระบบการจัดการสุญญากาศและไอเสียแบบบูรณาการของเราที่รองรับกระบวนการ EUV
การจัดการไฮโดรเจนอย่างปลอดภัยในโลโธกราฟี EUV
ความปลอดภัยในการทําลิโธกราฟี EUV ขึ้นอยู่กับการจัดการการไหลของไฮโดรเจนที่สูงมากเพียงใด วิธีการแบบดั้งเดิม เช่น การเผาไหม้แบบควบคุมหรือการเจือจางด้วยไนโตรเจน สามารถเพิ่มต้นทุนทางเศรษฐกิจและสิ่งแวดล้อมได้อย่างมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในปริมาณก๊าซที่กระบวนการ EUV ขั้นสูงต้องการ
Edwards รับมือกับความท้าทายนี้ด้วยแนวทางการเจือจางด้วยอากาศที่เป็นนวัตกรรม ซึ่งได้รับการสนับสนุนจากความเชี่ยวชาญที่ลึกซึ้งในขีดจํากัดการติดไฟ เทคโนโลยีการเจือจาง และมาตรฐานความปลอดภัยของอุตสาหกรรม ออกแบบมาเพื่อจัดการไฮโดรเจนอย่างปลอดภัยในขณะที่ปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบ
ด้วยการรักษาเส้นทางวิกฤตที่สารผสมติดไฟง่ายให้สั้นมากและตรวจสอบอย่างระมัดระวัง ก๊าซจะถูกเจือจางอย่างรวดเร็วจนมีความเข้มข้นที่ไม่ติดไฟ ซึ่งสามารถลําเลียงผ่านโรงงานและปล่อยออกมาได้อย่างปลอดภัย การเจือจางด้วยอากาศช่วยลดต้นทุนเชื้อเพลิงและการปล่อยก๊าซคาร์บอนของการเผาไหม้แบบควบคุม และหลีกเลี่ยงค่าใช้จ่ายสูงของไนโตรเจนสําหรับการเจือจาง
ความยั่งยืนและต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของที่ต่ําลง
Edwards (ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของ Atlas Copco) มุ่งมั่นที่จะใช้วิธีการที่กําหนดโดยโครงการริเริ่ม Science Based-Targets (SBTi) เพื่อบรรลุเป้าหมายของการปล่อยก๊าซเรือนกระจกเป็นศูนย์สุทธิ ซึ่งรวมถึงการลดการปล่อยมลพิษของ Edwards เอง การปล่อยมลพิษของซัพพลายเออร์ของเรา และการปล่อยมลพิษที่เกิดจากการใช้งานผลิตภัณฑ์ของเราโดยลูกค้าของเรา SBTi ขับเคลื่อนการดําเนินการด้านสภาพภูมิอากาศที่ทะเยอทะยานในหมู่ผู้มีส่วนได้ส่วนเสียในอุตสาหกรรมโดยช่วยให้บริษัทต่างๆ สามารถกําหนดเป้าหมายการลดการปล่อยมลพิษโดยใช้วิธีการที่สอดคล้องกันและอิงตามหลักวิทยาศาสตร์
ในปัจจุบัน ความยั่งยืนเชื่อมโยงอย่างใกล้ชิดกับความสามารถในการผลิต ประสิทธิภาพของสาธารณูปโภค และต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง EUV Vizeon ออกแบบมาเพื่อลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมของโครงสร้างพื้นฐานที่รองรับ EUV ผ่านความต้องการพลังงานที่ลดลง การใช้สาธารณูปโภคที่ลดลง และการนําไฮโดรเจนกลับมาใช้ใหม่ เมื่อเปรียบเทียบกับระบบก่อนหน้านี้ ระบบแบบบูรณาการใหม่ของเราให้การลดพลังงานเทียบเท่าทั้งหมด 49% พร้อมกับการลด CO2 เทียบเท่าและการปล่อยก๊าซเรือนกระจกลงอย่างมีนัยสําคัญ
การจัดการสุญญากาศ การจัดการไฮโดรเจน และการควบคุมแบบบูรณาการสําหรับการพิมพ์ลิโธกราฟี EUV
ตลอดหลายทศวรรษที่ผ่านมา Edwards มีบทบาทสําคัญในการพัฒนาและปรับใช้ระบบย่อยแบบบูรณาการของลิโธกราฟี EUV ส่งมอบระบบการจัดการสุญญากาศและก๊าซไอเสียมากกว่า 200 ระบบทั่วโลก EUV Vizeon สร้างขึ้นจากประสบการณ์ดังกล่าวในฐานะระบบรองรับโรงงานย่อยแบบบูรณาการของ Edwards สําหรับลิโธกราฟี EUV ขั้นสูง
ลิโธกราฟี EUV ใช้ในการผลิตชิปตรรกะที่ทันสมัยที่สุดและหน่วยความจําแบนด์วิดท์สูง ซึ่งขึ้นอยู่กับสุญญากาศที่เสถียร การไหลของไฮโดรเจนสูง การจัดการก๊าซไอเสียที่แม่นยํา และเวลาทํางานสูงสุดในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อและโรงงานย่อยที่ควบคุมอย่างเข้มงวด เนื่องจาก EUV ได้เปลี่ยนจากเทคโนโลยีใหม่ไปสู่การผลิตปริมาณมาก ความต้องการระบบโรงงานย่อยจึงเพิ่มขึ้นอย่างมาก
