Regis (Reactive Gas Inject System) on kemiallisesti reagoiva järjestelmä, joka käyttää etäplasmatekniikkaa pumpun käyttöiän pidentämiseen.
Uusimman sukupolven Regis-reaktiokammion ainutlaatuinen rakenne varmistaa, että prosessikaasut reagoivat tehokkaasti ennen pumppuun pääsyä, mikä pidentää pumpun käyttöikää yli 300 päivään.
Aiempaan Regis-sukupolveen verrattuna jalanjälki on pienentynyt 26,5 %. Uusi Regis-järjestelmä yhdessä raskaaseen käyttöön tarkoitettujen kuivatyhjiöpumppujen kanssa takaa maksimaalisen pumpun käyttöajan ja prosessin vakauden useissa prosesseissa.
Ominaisuudet ja edut:
- Alhaiset käyttökustannukset:
ReGIS pidentää pumpun käyttöiän vähintään 300 päivään
Optimoitu NF3-virtaus FTIR-tutkimusten avulla COO:n minimoimiseksi.
Reaktiotehokkuus parani 100 % uuden reaktiokammion rakenteen ansiosta.
- Maksimoi työkalun käytettävyyden:
Jatkuva online-käyttö.
Usein toistuvien pumppujen vaihtojen ansiosta työkalujen seisokit vähenevät.
- Täysin suljettu järjestelmä, johon sisältyy kaapin poistoaukko.
- PLC-ohjattu:
Työkalun signaaliohjaus ReGIS Plasman syttymiskyky.
Lisää turvallisuutta.
Täydellinen järjestelmän valvonta.
- Mahdollistaa prosessin vakauden:
Ei suorituskyvyn heikkenemistä.
Johtavuudessa ei ole muutoksia.
Edwards Regis