ReGIS (Reactive Gas Inject System) ist ein System zur chemischen Reaktion, das mittels ferngesteuerter Plasmatechnologie die Lebensdauer der Pumpe verlängert.
Die neueste Generation von ReGIS verfügt über eine einzigartige Reaktionskammer, die sicherstellt, dass Prozessgase effizient vor dem Eintritt in die Pumpe reagieren, wodurch die Lebensdauer der Pumpe auf mehr als 300 Tage verlängert wird.
Im Vergleich zur Vorgängergeneration von ReGIS wurde die Stellfläche um 26,5 % reduziert. Das neue ReGIS-System bietet in Verbindung mit trockenverdichtenden Vakuumpumpen für anspruchsvolle Anwendungen maximale Pumpenbetriebszeiten und Prozessstabilität für eine Reihe von Prozessen.
Merkmale und Vorteile:
- Niedrige Betriebskosten:
ReGIS verlängert die Lebensdauer der Pumpe auf mindestens 300 Tage
Optimierung des NF3-Durchsatzes mithilfe von FTIR-Studien zur Minimierung der Gesamtbetriebskosten.
Die Reaktionseffizienz wurde mit dem neuen Reaktionskammerdesign um 100 % gesteigert.
- Maximiert die Betriebszeit der Werkzeuge:
Online-Dauerbetrieb.
Kürzere Stillstandszeiten der Werkzeuge aufgrund eines regelmäßigen Pumpenaustauschs.
- Vollständig geschlossenes System mit Gehäuseabsauganschluss im Lieferumfang enthalten.
- SPS-Steuerung:
Werkzeugsignalsteuerung ReGIS Plasmazündfähigkeit.
Verbesserte Sicherheit.
Vollständige Systemüberwachung.
- Ermöglicht Prozessstabilität:
Keine Leistungseinbußen.
Keine Änderung der Leitfähigkeit.
Edwards ReGIS