Regis (Sistema de Inyección de Gas Reactivo) es un sistema de reacción química que utiliza tecnología de plasma remoto para aumentar la vida útil de la bomba.
La última generación de Regis presenta un diseño único de cámara de reacción que garantiza que los gases del proceso reaccionen de manera eficiente antes de entrar en la bomba, extendiendo la vida útil de la bomba a más de 300 días.
En comparación con la generación anterior de Regis, la huella se ha reducido en un 26,5 %. El nuevo sistema Regis, junto con las bombas de vacío en seco de la serie de servicio pesado, proporciona un tiempo máximo de funcionamiento de la bomba y estabilidad del proceso para una serie de procesos.
Características y beneficios:
- Bajo costo de propiedad:
ReGIS extiende la vida útil de la bomba a 300 días o más
Flujo optimizado de NF3 utilizando estudios FTIR para minimizar CoO.
La eficiencia de la reacción aumentó un 100 % gracias al nuevo diseño de la cámara de reacción.
- Maximiza el tiempo de actividad de la herramienta:
Operación continua en línea.
Reducción del tiempo de inactividad de la herramienta debido a cambios frecuentes de bomba.
- Sistema completamente cerrado con puerto de extracción en el armario incluido.
- Controlado por PLC:
Control de señal de herramienta ReGIS capacidad de ignición por plasma.
Seguridad Mejorada
Monitorización completa del sistema.
- Permite la estabilidad del proceso:
Sin pérdida de rendimiento.
Sin cambios en la conductancia.
Edwards Regis