Regis (反應氣體注入系統) 是一種化學反應系統，使用遠端電漿技術來延長泵浦的使用壽命。
最新一代 Regis 採用獨特的反應室設計，可確保製程氣體在進入泵浦前能有效率地反應，將泵浦的使用壽命延長至超過 300 天。
相較於前一代 Regis，其佔地面積已減少 26.5 %。新的 Regis 系統搭配嚴苛型系列的乾式真空泵浦，可在一系列製程中提供最長的泵浦運行時間與製程穩定性。
特性和優點：
- 以低廉的成本即可擁有：
ReGIS 將泵浦壽命延長至 300 天或更長
最佳化 NF3 流量，使用 FTIR 研究將 CoO 減到最小。
反應效率因新的反應室設計而提升 100%。
- 最大化工具運行時間：
線上連續操作。
縮短因頻繁更換泵浦而造成的設備停機時間。
- 具有機櫃抽取口的完全密閉系統。
- PLC 控制：
工具訊號控制 ReGIS 電漿點火功能。
增強的安全性。
完整的系統監控。
- 達成製程穩定性：
無損效能。
傳導不變。
愛德華 Regis