Regis (Reactive Gas Inject System) é um sistema de reação química que utiliza tecnologia de plasma remoto para aumentar a vida útil da bomba.
O Regis de última geração apresenta um design exclusivo da câmara de reação que garante que os gases do processo reajam de forma eficiente antes de entrar na bomba, estendendo a vida útil da bomba para mais de 300 dias.
Em comparação com a geração anterior Regis, a área ocupada foi reduzida em 26,5%. O novo sistema Regis, juntamente com bombas de vácuo a seco de série para trabalhos difíceis, proporciona o máximo tempo de atividade da bomba e estabilidade de processo para uma série de processos.
Características e benefícios:
- Baixo custo de propriedade:
O ReGIS estende a vida útil da bomba para 300 dias ou mais
Fluxo NF3 otimizado usando estudos FTIR para minimizar o CoO.
A eficiência da reação aumentou em 100% devido ao novo design da câmara de reação.
- Maximiza o tempo de atividade da ferramenta:
Operação contínua on-line.
Redução do tempo de paralisação da ferramenta devido a trocas frequentes de bombas.
- Sistema totalmente fechado com porta de extração de gabinete incluída.
- Controle por PLC:
Capacidade de ignição Tool Signal Control ReGIS Plasma.
Segurança aprimorada.
Monitoramento completo do sistema.
- Permite a estabilidade do processo:
Sem perda de desempenho.
Nenhuma alteração na condutância.
Regis Edwards