ข้อจํากัดของสุญญากาศขั้นสุดที่บรรลุได้ในระบบปั๊มเทอร์โบโมเลกุล

โหลดกระบวนการในระบบสุญญากาศสามารถสรุปได้ในแผนภาพด้านล่าง:

1. ประจุไฟฟ้า
2. การระบายอากาศ
3. การรั่วไหล
4. เบื้องหลัง
5. แก๊สเริ่มต้น

... ซึ่งโดยทั่วไปจะเป็นผลรวมของ:

• การดูดซับพื้นผิว
• การแพร่กระจายปริมาณมากที่ผนังห้องอบ
• การซึมผ่านของบรรยากาศภายนอก

1. การซึมผ่าน
2. ภายนอกอาคาร 
3. ภายในอาคาร
4. การแจกจ่าย
5. การระเหยยาดมสลบ
6. การดูดซับ

ตัวอย่างเช่น ในเครื่องเร่งปฏิกิริยา/เครื่องชนปะทะที่พื้นผิว 'การลดการดูดซับที่ถูกกระตุ้น' จากอิเล็กตรอน โฟตอน และไอออน อาจเป็นแหล่งก๊าซที่สําคัญ

แรงดันรวมหรือแรงดันสูงสุด P _tot เหนือปั๊มเทอร์โบโมเลกุลคือ: 

โดยที่ P_Ti คือความดันบางส่วนของก๊าซ ith ซึ่งกําหนดโดยความดันบางส่วนของสายรองของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล (P _Tbi ) ผ่านอัตราส่วนการบีบอัด (C_Ri ) ของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลสําหรับก๊าซ ith แต่ละชนิด

การไล่ก๊าซออก (และแหล่งก๊าซอื่นๆ) ในห้องของก๊าซ ih จะให้โหลด P_Qi เพิ่มเติม

โดยที่ Q_i คือโหลดก๊าซของก๊าซ ith และ S_i คือความเร็วของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลสําหรับก๊าซ ith

P_Qi และ P_Ti ขึ้นอยู่กับการทํางานเนื่องจาก:

S_i และ C_Ri ทั้งสองค่าขึ้นอยู่กับแรงดันและการไหลของทางเข้าและทางกลับ

โดยที่ S_o คือความเร็วการไหลเป็นศูนย์ และ Kmax คืออัตราส่วนการบีบอัดของการไหลเป็น 'ศูนย์ ดังนั้นหากไม่คํานึงถึงการปล่อยก๊าซและโหลดก๊าซอื่นๆ แรงดันสุดท้ายที่คาดไว้คือ: