หลังจากปล่อยให้ระบบสุญญากาศทั่วไปออกจากความดันบรรยากาศเป็นเวลาหลายชั่วโมง จะได้ 'ความดันสมดุล
แรงดันนี้ (~ 10 -6 ถึง 10 -7 mbar) ขึ้นอยู่กับขนาดของห้องอบ วัสดุของห้องอบ ซีล การปรับสภาพเบื้องต้น ขั้นตอนการระบายอากาศ ความแน่นหนา และประเภทของปั๊มสุญญากาศที่ใช้
จะบรรลุแรงดันที่ต้องการได้อย่างไร
ระบบแต่ละระบบจะแตกต่างกัน แต่โดยทั่วไปแล้วจะได้ความดันสมดุลเมื่อโหลดก๊าซจากการระบายออกมาตรงกับความเร็วในการปั๊ม
ไอน้ําซึ่งยึดเหนี่ยวกับวัสดุสุญญากาศเป็นสิ่งที่มีส่วนสําคัญต่อโหลดในสุญญากาศสูง สามารถเป็นแหล่งที่มาเกือบไม่มีที่สิ้นสุดได้
เพื่อให้ได้แรงดันที่ต่ํากว่า (UHV และ XHV) ระบบจะถูกทําให้ร้อนขึ้นโดยเจตนา (โดยทั่วไปที่อุณหภูมิในช่วง 150 °C ถึง 250 °C) เป็นเวลา 24 ถึง 48 ชั่วโมง
ในระหว่างกระบวนการอบ ความดันของระบบจะเพิ่มขึ้นในช่วง 10 -5 mbar การอบจะดําเนินต่อไปจนกระทั่งแรงดันระบบลดลงอย่างเห็นได้ชัด อุณหภูมิการอบสูงสุดไม่ควรสูงกว่าอุณหภูมิที่ส่วนประกอบแต่ละชิ้นของระบบอนุญาต
ปัจจัยที่ควรพิจารณาเมื่อป้อนระบบปั๊มเทอร์โบโมเลกุล
1. อุณหภูมิในการทํางานสูงสุด
โดยทั่วไปแล้ว อุณหภูมิการทํางานสูงสุดของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลจะจํากัดอยู่ที่ ~100-120 °C ที่หน้าแปลน
ดังนั้นจึงมีการใช้ 'แถบ' แบบอบแห้งพิเศษสําหรับหน้าแปลนและรอบๆ กรอบของปั๊ม หากใบมีดไม่ร้อน ไอน้ําจะดูดซับบนพื้นผิวของใบมีด แถบเหล่านี้จําเป็นต้องได้รับการควบคุมอุณหภูมิเพื่อให้ไม่เกินอุณหภูมิสูงสุดที่อนุญาต จําเป็นต้องใช้ความระมัดระวังเพิ่มเติมเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีแหล่งความร้อนแผ่รังสีอยู่ในระยะการมองเห็นของช่องทางเข้าของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล
เมื่อพิจารณาถึงระบบ 'ทั่วไป' ขนาด 200 ลิตรที่มีพื้นที่ผิวทั้งหมด 2 ม.2 ที่ปั๊มด้วยปั๊มเทอร์โบโมเลกุล 300 ลิตร/วินาที ค่าโหลดก๊าซที่ความดันการอบออก 3 x 10 -5 มิลลิบาร์จะเท่ากับ ~0.01 มิลลิบาร์ ลิตร/วินาที ซึ่งเทียบเท่ากับ 0.6 sccm หรือ 0.03 กรัม/ชม.
โหลดนี้ไม่มีนัยสําคัญเมื่อจับคู่กับปั๊มรองความจุที่เข้ากันได้ เช่น ปั๊มสโครลหรือปั๊มใบพัดโรตารี่ซีลน้ํามัน อย่างไรก็ตาม จําเป็นต้องพิจารณาลักษณะของโหลด เช่น ไอน้ํา
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล nEXT พร้อมแถบอบ
2. การดูดซับน้ํา
เพื่อช่วยจํากัดการดูดซับน้ํา สามารถใช้การฉีดพ่นก๊าซเฉื่อยในกองใบพัดล่างของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ ~10-20 sccm นอกจากนี้ ปั๊มสํารองควรทํางานด้วยก๊าซเพื่อป้องกันการควบแน่น
แม้จะมีอัตราการไหลในการทํางานต่ําเหล่านี้ ปริมาตรของปั๊มสํารองจะประกอบด้วยน้ํา ~100 เปอร์เซ็นต์อย่างรวดเร็ว และแรงดันสํารองจะมีข้อจํากัดหากไม่มีบัลลาสต์ ผู้ปฏิบัติงานด้าน UHV บางคนจะใช้งานบัลลาสต์เป็นระยะๆ ในระหว่างลําดับการอบ
การกําจัดก๊าซด้วยการอบ
3. โหลดแก๊สเพิ่มเติม
แม้ว่าน้ําจะเป็นหัวใจหลัก แต่ก็ควรพิจารณาหาปริมาณก๊าซที่เฉพาะเจาะจงอื่นๆ ที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการอบด้วย
ในระหว่างการอบแห้ง เปอร์เซ็นต์ของไฮโดรเจนจะเพิ่มขึ้น และหลังจากการอบแห้ง ไฮโดรเจนมักจะเป็นก๊าซตกค้างที่สําคัญ เช่นเดียวกับก๊าซไวไฟใดๆ ควรมีการดูแลและแนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุดเพื่อให้แน่ใจว่าการทํางานกับไฮโดรเจนปลอดภัยแม้จะมีอัตราการไหลต่ํา
ดาวน์โหลดเอกสารการใช้งาน
