Atlas: ระบบบําบัดเผาไหม้แบบเปียก

• Atlas TCS สําหรับก๊าซ CVD ทั่วไป (NF3/F2)
• Atlas TPU สําหรับก๊าซ PFC (ClF3, C2F6, C3F8) ในกระบวนการ CVD
• Atlas Kronis สําหรับก๊าซ CVD k ต่ําในกระบวนการรุ่นถัดไป
• Atlas Etch สําหรับกระบวนการกัดเซมิคอนิเตอร์และจอแสดงผลแบบแบน (CF4, SF6 และ PFC ที่มีการไหลสูง)
• Atlas Helios สําหรับการบําบัดกระบวนการไฮโดรเจนอย่างปลอดภัยในกระบวนการ Epitaxy และ MOCVD

ระบบ Atlas™ มีการใช้เชื้อเพลิงต่ําเมื่อเทียบกับอุปกรณ์บําบัดก๊าซรุ่นก่อนหน้า เราใช้เทคโนโลยีหัวเผาไหม้แบบเผาไหม้เข้า Alzeta™ ที่ผ่านการพิสูจน์แล้วเพื่อลดต้นทุนการเป็นเจ้าของลงอย่างมาก ด้วยช่องทางเข้าหนึ่งถึงหกช่องที่มีตัวเลือกมากมาย รวมถึงระบบจัดการอุณหภูมิ (TMS) ระบบ Atlas สามารถจัดการความจุการไหลได้สูงสุด 1,200 slm ออกแบบมาเพื่อการใช้งานที่ง่ายดายและช่วยให้การบํารุงรักษามีประสิทธิภาพมากขึ้น

ใช้โดยผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายใหญ่ที่สุด เครื่องเผาไหม้แบบเผาไหม้เข้าได้กลายเป็นมาตรฐานระดับโลกในการบําบัดก๊าซตั้งแต่ปี 1994

เทคโนโลยีการเผาไหม้ที่เป็นเอกลักษณ์ของเราทํางานด้วยอุณหภูมิการเผาไหม้ที่สม่ําเสมอ วิธีนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการปล่อยไอเสียพื้นหลังจะต่ํามาก และก๊าซที่ไหลเข้ามาจะป้องกันไม่ให้วัสดุในกระบวนการสัมผัสกับผนังห้องอบ ซึ่งจะช่วยลดการอุดตันจากของแข็งให้เหลือน้อยที่สุด องค์ประกอบที่เป็นเอกลักษณ์ของวัสดุเตาเผาช่วยให้มั่นใจได้ถึงความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่า และช่วยให้ Atlas มีความน่าเชื่อถือและความปลอดภัยที่เหนือกว่า

ที่ศูนย์นวัตกรรมด้านสิ่งแวดล้อมที่ทันสมัยของเรา เรามีโซลูชันที่ปรับแต่งกระบวนการเพื่อประสิทธิภาพที่โดดเด่น ผ่านการพิสูจน์ในภาคสนาม และผ่านการตรวจสอบโดยบุคคลที่สาม โดยทั่วไปแล้ว DRE เกี่ยวกับการบําบัดจะครอบคลุมกฎหมายทั่วโลกและกฎหมายท้องถิ่น:

    SiH4 และฮาไลด์อื่นๆ ต่ํากว่า TLV

    NF3: >99% / <TLV

    F2:: >99% / <TLV

    CF4: >90%

    PFC อื่นๆ: >99%

ด้วยฐานการติดตั้งที่ครอบคลุม ทีมงานด้านการใช้งานทั่วโลกที่ไม่มีใครเทียบได้ และการสนับสนุนด้านบริการ เราสามารถนําเสนอโซลูชันที่ดีที่สุดที่ออกแบบมาสําหรับความต้องการในกระบวนการของคุณ ติดต่อทีมงานของเราและเราจะทํางานร่วมกันเพื่อหาโซลูชันที่ดีที่สุด