Regis (Reactive Gas Inject System) is een chemisch reagerend systeem dat gebruikmaakt van remote plasma-technologie om de levensduur van de pomp te verlengen.
De nieuwste generatie Regis beschikt over een uniek ontwerp van de reactiekamer dat ervoor zorgt dat procesgassen efficiënt reageren voordat ze de pomp binnengaan, waardoor de levensduur van de pomp wordt verlengd tot meer dan 300 dagen.
In vergelijking met de vorige generatie Regis is de voetafdruk met 26,5% verkleind. Het nieuwe Regis-systeem, gecombineerd met droogvacuümpompen uit de heavy-duty serie, zorgt voor maximale pomptijd en processtabiliteit voor een reeks processen.
Kenmerken en voordelen:
- Lage eigendomskosten:
ReGIS verlengt de levensduur van de pomp tot 300 dagen of langer
Geoptimaliseerde NF3-stroom met behulp van FTIR-studies om CoO te minimaliseren.
Reactie-efficiëntie met 100% verhoogd dankzij nieuw ontwerp van de reactiekamer.
- Maximaliseert de uptime van het gereedschap:
Continue bedrijf on-line.
Verminderde stilstandtijd van het gereedschap door frequente pompwisselingen.
- Volledig gesloten systeem met inbegrepen afzuigpoort in de kast.
- PLC-gestuurd:
Tool Signaalbesturing ReGIS Plasma ontstekingsmogelijkheid.
Verbeterde beveiliging.
Volledige systeemmonitoring.
- Biedt processtabiliteit:
Geen prestatieverlies.
Geen veranderingen in geleiding.
Edwards Regis