Regis (Hệ thống phun khí phản ứng) là một hệ thống phản ứng hóa học, sử dụng công nghệ plasma từ xa để tăng tuổi thọ bơm.
Regis thế hệ mới nhất có thiết kế buồng phản ứng độc đáo đảm bảo các khí quy trình được phản ứng hiệu quả trước khi vào bơm, kéo dài tuổi thọ bơm lên hơn 300 ngày.
So với Regis thế hệ trước, diện tích lắp đặt đã giảm 26,5%. Hệ thống Regis mới kết hợp với bơm chân không khô hạng nặng, cung cấp thời gian hoạt động bơm tối đa và độ ổn định quy trình cho một loạt các quy trình.
Tính năng & Lợi ích
- Chi phí sở hữu thấp:
ReGIS kéo dài tuổi thọ bơm lên 300 ngày trở lên
Tối ưu hóa dòng NF3 bằng cách sử dụng các nghiên cứu FTIR để giảm thiểu CoO.
Hiệu quả phản ứng tăng 100% nhờ thiết kế buồng phản ứng mới.
- Tối đa hóa thời gian hoạt động của dụng cụ:
Hoạt động liên tục trực tuyến.
Giảm thời gian ngừng hoạt động của dụng cụ do thay bơm thường xuyên.
- Hệ thống kín hoàn toàn với cổng hút tủ đi kèm.
- Điều khiển PLC:
Khả năng đánh lửa Plasma của Công cụ Kiểm soát Tín hiệu ReGIS.
Cải thiện độ an toàn
Giám sát toàn bộ hệ thống.
- Cho phép ổn định quy trình:
Không làm giảm hiệu suất.
Không có thay đổi về độ dẫn điện.
Edwards Regis