สุญญากาศและการบําบัดก๊าซเป็นสิ่งอํานวยความสะดวกที่สําคัญสําหรับหลายขั้นตอนของกระบวนการ เมื่อเกิดความไม่เสถียร (อุณหภูมิ การควบคุมความดัน การจัดการผลิตภัณฑ์พลอยได้ ปัญหาการกัดกร่อน/อนุภาค) จะทําให้เกิดการหยุดทํางานที่ไม่คาดคิดและอาจเพิ่มความเสี่ยงของเศษแผ่นชิพ ซึ่งทั้งสองอย่างนี้มีผลต่อ TCoO มากกว่าราคาอุปกรณ์และราคาบริการที่เพิ่มขึ้น

สาเหตุทั่วไป ได้แก่ การสะสมของผลิตภัณฑ์พลอยได้ในกระบวนการ หรือการกัดกร่อนในกระบวนการที่รุนแรง การจัดการความร้อน/การล้างที่ไม่เพียงพอ การใช้ส่วนประกอบเกินช่วงเวลาการซ่อมบํารุงตามแนวทางปฏิบัติที่ดีที่สุด และการตรวจสอบที่ไม่เพียงพอที่ทําให้ความเบี่ยงเบนเล็กน้อยกลายเป็นความล้มเหลว การปรับใช้แนวทางการบริการเชิงรุกตามสภาวะและการอัปเกรดตามเป้าหมายมักเป็นวิธีที่รวดเร็วที่สุดในการลดเหตุการณ์ที่ไม่คาดคิดซ้ําๆ และปรับปรุงปริมาณงานของแผ่นชิพ

เป้าหมายคือความพร้อมในการให้บริการ: กิจวัตรที่ได้มาตรฐาน ช่วงเวลาตามความเสี่ยง และการแทรกแซงการบํารุงรักษาตามสภาวะที่ขับเคลื่อนด้วยข้อมูล เพื่อให้คุณลดเหตุการณ์ที่ไม่ได้วางแผนไว้โดยไม่สิ้นเปลืองแรงงานหรือเปลี่ยนชิ้นส่วนก่อนกําหนด Edwards ขอแนะนําอย่างชัดเจนว่าการทบทวนความครบถ้วนของบริการสุญญากาศและการบําบัด เป็นขั้นตอนแรกในการเพิ่มประสิทธิภาพการปฏิบัติงานและ TCoO

เป้าหมายคือการปรับปรุงสถานะการให้บริการ ซึ่งหมายถึงความก้าวหน้าจากแนวทาง "แก้ไขปัญหา" เชิงตอบสนองไปสู่โปรแกรมการบํารุงรักษาที่ซับซ้อนยิ่งขึ้น เมื่อสถานะการให้บริการเติบโตขึ้น องค์กรต่างๆ จึงนําการผสมผสานที่สมดุลระหว่างแนวทางปฏิบัติในการทํางานที่เป็นมาตรฐาน ช่วงเวลาการบํารุงรักษาตามความเสี่ยง การตรวจสอบตามสภาพ เทคนิคการบํารุงรักษาเชิงคาดการณ์ และวินัยด้านความเป็นเลิศในการปฏิบัติงานมาใช้ ซึ่งช่วยให้สามารถดําเนินการบํารุงรักษาได้เมื่อจําเป็น ลดเวลาหยุดทํางานที่ไม่ได้วางแผนไว้ในขณะที่หลีกเลี่ยงแรงงานที่ไม่จําเป็นและการเปลี่ยนชิ้นส่วนก่อนกําหนด

Edwards ขอแนะนําให้ประเมินความสมบูรณ์ของโปรแกรมการบํารุงรักษาของคุณเป็นขั้นตอนแรกในการปรับปรุงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ ลดเวลาหยุดทํางานที่ไม่คาดคิด และลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ (TCOO)

การอัปเกรดสามารถยืดระยะเวลาระหว่างการซ่อมบํารุง ลดการใช้สาธารณูปโภค ปรับปรุงความทนทานในการทํางานหนัก และลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อน วิธีใดวิธีหนึ่งเหล่านี้จะช่วยเพิ่ม TCoO โดยไม่ต้องเสียเวลาและไม่ต้องหยุดชะงักในการเปลี่ยนชิ้นส่วนใหม่ทั้งหมด Edwards วางตําแหน่งการอัปเกรดเป็นเส้นทางในการปรับปรุงประสิทธิภาพ ลดต้นทุนการเป็นเจ้าของ และสนับสนุนเป้าหมายด้านความยั่งยืน 

สุญญากาศและการบําบัดสามารถแสดงถึงส่วนแบ่งวัสดุของการใช้พลังงานเซมิคอนดักเตอร์ ข้อคิดเห็นของอุตสาหกรรมหมายเหตุว่าปั๊มสุญญากาศเพียงอย่างเดียวอาจมีค่าใช้จ่ายพลังงานสูงสุดถึง ~20% ของการใช้พลังงานของโรงงานทั้งหมด และการบําบัดจะเพิ่มโหลดเพิ่มเติมขึ้นอยู่กับส่วนผสมของกระบวนการและประเภทการบําบัด

รวมถึงไฟฟ้า น้ําหล่อเย็น และ (หากมี) ก๊าซเชื้อเพลิงและก๊าซฉีดพ่น ในโรงงานผลิตหลายแห่ง สาธารณูปโภคสุญญากาศ/การบําบัดมีความสําคัญเพียงพอที่การเพิ่มประสิทธิภาพโหมดการทํางานและการผสานรวมระบบสามารถช่วยประหยัดค่าใช้จ่ายรายปีได้