ในหนังสือคู่มือวิทยาศาสตร์สุญญากาศ หลักสูตรการฝึกอบรมและภูมิปัญญาได้ถ่ายทอดไปทั่วหลายรุ่น เป็นต้น เราได้รับคําแนะนําว่า 'จุดเชื่อมต่อสุญญากาศทั้งหมดควรสั้นและกว้างที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้
แต่จะเกิดอะไรขึ้นหากเราไม่ทําเช่นนั้น ผลที่ตามมาของการไม่ปฏิบัติตามกฎคืออะไร
การนําไฟฟ้าในเทคโนโลยีสุญญากาศคืออะไร
ในคําศัพท์เกี่ยวกับสุญญากาศ การนําไฟฟ้า C ระหว่างสองจุดถูกกําหนดเป็นอัตราการไหลของก๊าซ Q (ผ่านส่วนประกอบ) หารด้วยการลดลงของแรงดัน (ΔP) ทั่วส่วนนั้น โดยที่ Pup คือแรงดันต้นทางของระบบ และ P down คือแรงดันปลายทาง:
(S คือความเร็วในการปั๊มที่จุดใดก็ได้ในระบบสุญญากาศ)
กลไกการไหลของก๊าซสามารถแบ่งออกเป็นโหมดต่างๆ ได้แก่ โหมดต่อเนื่อง (การชนกันของโมเลกุลกับโมเลกุลมีอิทธิพลต่อพฤติกรรม) โมเลกุล (การชนกันของโมเลกุลกับผนังโมเลกุลมีอิทธิพลต่อพฤติกรรม) และโหมดการไหลชั่วคราวระหว่างโหมดทั้งสองนี้
ภาพประกอบนี้แสดงไว้ด้านล่าง (สําหรับอากาศที่ 293K) โดยที่การนําไฟฟ้าของท่อความยาว 1 เมตรถูกพล็อตสําหรับเส้นผ่านศูนย์กลางที่แตกต่างกันและการนําไฟฟ้าของแรงดันจะแตกต่างกันเป็น 1/ความยาวสําหรับท่อยาว
การนําไฟฟ้าสําหรับความยาวของท่อ 1 เมตร
- สําหรับการไหลของโมเลกุล: การนําไฟฟ้าไม่ขึ้นอยู่กับแรงดัน (ที่นี่ <~ 0.01 mbar)
- สําหรับการไหลต่อเนื่อง: การนําไฟฟ้าเป็นฟังก์ชันเชิงเส้นของแรงดัน (ที่นี่ >~ 1 mbar) และการไหลแบบเปลี่ยนสถานะ และเป็น 'ส่วนผสม' ของการพึ่งพาแรงดันสูงสุด
สิ่งนี้หมายถึงอะไรในโลกสุญญากาศจริง
เราสามารถแสดงให้เห็นได้ด้วยการดูตัวอย่างบางส่วน
1. อะไรคือผลกระทบต่อความเร็วในการปั๊มสุทธิของปั๊มสโครล XDS35i ที่มีท่อลําเลียงต้นทาง NW40 5 ม. ที่มีข้องอ 2 ข้อ?
สําหรับอากาศที่ 293K
2. ระบบที่มีวาล์วประตู
ลองพิจารณาระบบที่มีปั๊มเทอร์โบโมเลกุล (TMP) ที่เชื่อมต่อโดยตรงกับห้องผ่านวาล์วประตู ISO100 (ซึ่งมีการนําไฟฟ้าโมเลกุลที่ค่อนข้างสูงที่ ~ 1,700 l/s)
กราฟด้านล่างแสดงความเร็วสุทธิของระบบ (SUp) ที่มีช่วงความเร็ว TMP (SDdown); การสูญเสียการนําไฟฟ้าเล็กน้อยในสภาวะการไหลของโมเลกุล
ดาวน์โหลดเอกสารการใช้งาน
