Regis (Sistema de Injeção de Gás Reativo) é um sistema de reação química que utiliza tecnologia de plasma remoto para aumentar a vida útil da bomba.
A última geração do Regis apresenta um design único da câmara de reação que assegura que os gases do processo reagem de forma eficiente antes de entrarem na bomba, prolongando a vida útil da bomba para mais de 300 dias.
Comparado com a geração anterior do Regis, a área ocupada foi reduzida em 26,5%. O novo sistema Regis, combinado com bombas de vácuo secas da série para serviço pesado, proporciona o máximo tempo de funcionamento da bomba e estabilidade do processo para uma série de processos.
Características e benefícios:
- Baixo custo de propriedade:
O ReGIS prolonga a vida útil da bomba para 300 dias ou mais
Caudal de NF3 otimizado usando estudos FTIR para minimizar CoO.
A eficiência da reação aumentou 100% devido ao novo design da câmara de reação.
- Maximiza o tempo de atividade da ferramenta:
Operação contínua on-line.
Redução do tempo de inatividade da ferramenta devido a trocas frequentes de bomba.
- Sistema totalmente fechado com porta de extração do armário incluída.
- Controlado por PLC:
Capacidade de ignição por plasma ReGIS para controlo de sinal da ferramenta.
Segurança Reforçada
Monitorização completa do sistema.
- Permite a estabilidade do processo:
Sem perda de desempenho.
Sem alterações na condutância.
Edwards Regis