Regis (Reaktif Gaz Enjeksiyon Sistemi), pompa ömrünü uzatmak için uzaktan plazma teknolojisini kullanan kimyasal reaksiyon sistemidir.
En yeni nesil Regis, pompaya girmeden önce proses gazlarının verimli bir şekilde reaksiyona girmesini sağlayan benzersiz bir reaksiyon odası tasarımına sahiptir ve pompa ömrünü 300 günden fazla uzatır.
Önceki nesil Regis ile karşılaştırıldığında, kaplama alanı %26,5 oranında azalmıştır. Yeni Regis sistemi, ağır hizmet tipi seri kuru vakum pompalarıyla birleştirildiğinde, bir dizi proses için maksimum pompa çalışma süresi ve proses kararlılığı sağlar.
Özellikleri ve Faydaları
- Düşük sahip olma maliyeti:
ReGIS, pompa ömrünü 300 güne veya daha fazlasına çıkarır
CoO'yu en aza indirmek için FTIR çalışmalarını kullanarak optimize edilmiş NF3 akışı.
Yeni reaksiyon odası tasarımı sayesinde reaksiyon verimliliği %100 arttı.
- Alet çalışma süresini maksimuma çıkarır:
Çevrimiçi sürekli çalışma.
Sık sık pompa değişimleri nedeniyle daha az alet duruş süresi.
- Kabin ekstraksiyon portu dahil tamamen kapalı sistem.
- PLC kontrollü:
Takım Sinyali Kontrolü ReGIS Plazma ateşleme özelliği.
Güvenliği artırır
Eksiksiz sistem izleme.
- Proses kararlılığı sağlar:
Performans kaybı yok.
İletkenlikte değişiklik yok.
Edwards Regis