Regis (Reactive Gas Inject System) to system reakcji chemicznej wykorzystujący technologię zdalnego wtrysku plazmy w celu wydłużenia żywotności pompy.
Regis najnowszej generacji charakteryzuje się unikalną konstrukcją komory reakcyjnej, która zapewnia efektywną reakcję gazów procesowych przed wprowadzeniem do pompy, wydłużając jej żywotność do ponad 300 dni.
W porównaniu z poprzednią generacją Regis, zajmowana powierzchnia została zmniejszona o 26,5%. Nowy system Regis w połączeniu z serią suchych pomp próżniowych do trudnych warunków pracy zapewnia maksymalny czas pracy pompy i stabilność procesu dla szeregu procesów.
Funkcje i zalety:
- Niski koszt posiadania:
ReGIS wydłuża żywotność pompy do 300 dni lub więcej
Zoptymalizowany przepływ NF3 przy użyciu badań FTIR w celu zminimalizowania COO.
Wydajność reakcji zwiększona o 100% dzięki nowej konstrukcji komory reakcyjnej.
- Maksymalizacja czasu sprawnego działania:
Praca ciągła online.
Skrócony czas przestoju narzędzia dzięki częstej wymianie pompy.
- Całkowicie zamknięty system z przyłączem wyciągu obudowy.
- Sterowanie PLC:
Zdolność zapłonu plazmy ReGIS Tool Signal Control.
Zwiększone bezpieczeństwo
Pełne monitorowanie systemu.
- Zapewnia stabilność procesu:
Bez utraty wydajności.
Brak zmian w przewodności.
Edwards Regis