Regis (Reactive Gas Inject System) er et kemisk reagerende system, der anvender fjernplasmateknologi til at øge pumpens levetid.
Den nyeste generation af Regis har et unikt reaktionskammerdesign, der sikrer, at procesgasser reagerer effektivt, før de kommer ind i pumpen, hvilket forlænger pumpens levetid til mere end 300 dage.
Sammenlignet med den tidligere generation af Regis er fodaftrykket blevet reduceret med 26,5 %. Det nye Regis-system kombineret med tørvakuumpumper i den hårde serie giver maksimal pumpetid og processtabilitet for en række processer.
Funktioner og fordele omfatter:
- Lave ejeromkostninger:
ReGIS forlænger pumpens levetid til 300 dage eller mere
Optimeret NF3-flow ved hjælp af FTIR-undersøgelser for at minimere CoO.
Reaktionseffektiviteten er øget med 100 % på grund af det nye reaktionskammerdesign.
- Maksimerer værktøjets oppetid:
Kontinuerlig onlinedrift.
Reduceret værktøjsnedetid på grund af hyppige pumpeudskiftninger.
- Fuldt lukket system med kabinetudsugningsport inkluderet.
- PLC-styret:
Værktøjssignalstyring ReGIS Plasmatændingsevne.
Øget sikkerhed.
Fuld systemovervågning.
- Giver processtabilitet:
Ingen tab af ydeevne.
Ingen ændringer i ledningsevnen.
Edwards Regis