Regis (Reactive Gas Inject System) je chemický reaktivní systém, který využívá technologii vzdálené plazmy k prodloužení životnosti vývěvy.
Nejnovější generace systému Regis se vyznačuje jedinečnou konstrukcí reakční komory, která zajišťuje efektivní reakci procesních plynů před vstupem do čerpadla a prodlužuje životnost vývěvy na více než 300 dní.
Ve srovnání s předchozí generací systému Regis byly prostorové nároky sníženy o 26,5 %. Nový systém Regis spojený se suchoběžnými vývěvami pro náročné aplikace zajišťuje maximální provozuschopnost vývěvy a stabilitu procesu pro řadu procesů.
Funkce a výhody:
- Nízké provozní náklady:
Systém ReGIS prodlužuje životnost vývěvy na 300 dní nebo více
Optimalizovaný průtok NF3 pomocí studií FTIR pro minimalizaci CoO.
Účinnost reakce se zvýšila o 100 % díky nové konstrukci reakční komory.
- Maximalizace doby provozuschopnosti nástroje:
Nepřetržitý provoz online.
Zkrácení prostojů výrobní linky způsobovaný častými výměnami vývěv.
- Plně uzavřený systém s portem pro odsávání komory je součástí dodávky.
- Řízeno jednotkou PLC:
Funkce kontroly signálu nástroje ReGIS pro zapálení plazmy.
Rozšířené zabezpečení.
Kompletní monitorování systému.
- Umožňuje stabilitu procesu:
Žádná ztráta výkonu.
Žádné změny vodivosti.
Systém Edwards Regis