มีสี่วิธีหลักที่คุณสามารถลดการปล่อยก๊าซออกในระบบสุญญากาศของคุณ ได้แก่:
- การทําความสะอาดและการจัดการ (การอบ)
- การเตรียมพร้อม
- ความมุ่งมั่น
- การล้างและการเติมกลับ
ในเอกสารการใช้งานนี้ เราจะพิจารณาวิธีการเหล่านี้แต่ละวิธีอย่างละเอียด
1. การทําความสะอาดและการจัดการ
เทคนิคเหล่านี้รวมถึงวิธีการที่ค่อนข้างเรียบง่าย ซึ่งใช้เวลาสั้นและส่วนใหญ่จะดําเนินการกับชิ้นส่วนแต่ละชิ้นในแหล่งกําเนิด
ซึ่งมีประสิทธิภาพในการป้องกันการปนเปื้อนบนพื้นผิวทั้งแบบหยาบและละเอียด และสามารถลดอัตราการปล่อยก๊าซออกได้ตั้งแต่ 50% ถึง 5 ลําดับ การเตรียมวัสดุอย่างเหมาะสมเป็นสิ่งสําคัญเพื่อให้ได้อัตราการปล่อยก๊าซออกต่ําและถึง UHV
การทําความสะอาดควรตามด้วยการอบเพื่อลดอัตราการไล่ก๊าซออก สิ่งสําคัญคือต้องจัดการกับสิ่งของอย่างระมัดระวังเมื่อเริ่มเตรียมวัสดุแล้ว วิธีนี้จะช่วยป้องกันการปนเปื้อน เนื่องจากชุดลายนิ้วมือ (เช่น) อาจใช้เวลาหลายวันในการละลาย ควรจํากัดระยะเวลาที่สัมผัสกับความชื้นให้น้อยที่สุดเท่าที่จะทําได้
ตัวอย่างการทําความสะอาด: การทําความสะอาดแบบ Glow Discharge
2. การรักษาพื้นผิว
การรักษาพื้นผิวจะลดพื้นที่ผิวสุทธิโดยการลดความขรุขระ เทคนิคที่พบบ่อยที่สุดคือการขัดเงาเชิงกลและการขัดเงาด้วยไฟฟ้า
การขัดเงาด้วยเครื่องจักรมักจะเป็นหนึ่งในการบําบัดวัสดุครั้งแรกที่ใช้ในการขจัดสิ่งปนเปื้อนขนาดใหญ่ ในขณะที่การขัดเงาด้วยไฟฟ้าจะแทนที่ชั้นพื้นผิวอสัณฐานด้วยชั้นออกไซด์ที่มีลําดับ การขัดเงาด้วยไฟฟ้ามีประสิทธิภาพเป็นพิเศษกับไฮโดรเจน/ไฮโดรคาร์บอน
ผลสุทธิของการลดความขรุขระของพื้นผิวแสดงไว้ด้านล่าง:
ผลกระทบของความขรุขระของพื้นผิวต่อการระบายก๊าซออก
3. การทุจริต
การทําให้เป็นพาสซีฟผ่านการเคลือบผิวจะสร้างชั้นกั้นป้องกันการดูดซับและการซึมผ่านของสิ่งปนเปื้อน
การเคลือบผิวโดยทั่วไปจะใช้การเคลือบ CVD, PVD หรือการเคลือบสปัตเตอร์ที่อุณหภูมิสูงขึ้น (200-500°C) และอาจเป็น:
- แบบพาสซีฟ - อุปสรรคที่เรียบง่าย
- ใช้งานอยู่ - ปั๊มก๊าซ (H2, CO, H2O, O2 และ N2) ออกจากห้องอบและดักจับก๊าซเหล่านั้น การเคลือบผิวเลนส์ (Non-Evaporable Getter) เหล่านี้จําเป็นต้องมีการกระตุ้นการทํางานเป็นระยะๆ ด้วยความร้อนเพื่อให้บริเวณพื้นผิวปราศจากสิ่งกีดขวาง
รอบการอบ
4. การล้างและการเติมกลับ
การไหลของก๊าซแห้งอย่างต่อเนื่องผ่านห้องอบสามารถขจัดสิ่งปนเปื้อนและลดความเข้มข้นของไอน้ํา แม้แต่การฉีดพ่นสั้นๆ ก็มีประสิทธิภาพในการลดการปล่อยก๊าซออก หลังจากการไหลของการไล่ก๊าซหยุดลง ความชื้นอาจเพิ่มขึ้นสูงกว่า 30% ภายในไม่กี่ชั่วโมง คุณสามารถดูผลกระทบเหล่านี้ได้ในกราฟ
การเติมกลับหรือการระบายอากาศด้วย N2 ยังสามารถลดไอน้ําสําหรับระบบที่ปล่อยออกสู่บรรยากาศอย่างสม่ําเสมอได้ดังแสดงด้านล่าง:
ผลกระทบของรอบการระบายอากาศ/การไล่ก๊าซออกจากก๊าซ
เทคนิคการอบ/ล้างที่ค่อนข้างใหม่ใช้รอบการปั๊ม/ล้างก๊าซเฉื่อยระหว่างการอบ และให้การอบที่รวดเร็วขึ้นดังที่แสดงไว้ที่นี่:
อบด้วยก๊าซฉีดพ่นและรอบแรงดัน
ดาวน์โหลดเอกสารการใช้งาน
