ระบบและบริการสนับสนุน EUV

ระบบรองรับลิโธกราฟี EUV ของเราเป็นการผสมผสานระหว่างกําลังปั๊มและหน่วยบําบัดที่ออกแบบมาเพื่อทํางานร่วมกันอย่างมีประสิทธิภาพสูงสุดเพื่อดูดและลดก๊าซที่ไม่พึงประสงค์ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ EUV การเพิ่มผลผลิตสูงสุดหมายถึงการทําความเข้าใจความต้องการที่ซับซ้อนขึ้นเรื่อยๆ จากลิโธกราฟี EUV อันที่จริงแล้ว ความพร้อมใช้งานของเครื่องมือและผลลัพธ์ขับเคลื่อนนวัตกรรมของเรา ตัวอย่างเช่น การอัปเกรดครั้งล่าสุดของเราให้กําลังของระบบและความสามารถในการซ่อมบํารุงที่มากขึ้นพร้อมความต้องการพลังงานและการปล่อยมลพิษที่ลดลง

ปัจจุบันมีความคาดหวังทางการค้ามากขึ้นสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในลักษณะที่ยั่งยืนและมีความรับผิดชอบ ในขณะที่ยังคงตอบสนองความต้องการด้านการเติบโตและความสามารถในการผลิตของห้องอบ ความยั่งยืนส่งผลกระทบต่อกระบวนการออกแบบของเรา ยกตัวอย่างเพียงตัวอย่างเดียว การอัปเกรด EUV ปัจจุบันของ Edwards ให้การลด CO₂ เฉลี่ยต่อระบบที่ 270,000 กก. pa

Edwards อยู่ในตําแหน่งที่เป็นเอกลักษณ์ในการสนับสนุนลูกค้าทั่วโลกของเราด้วยโซลูชันในท้องถิ่นโดยใช้การวิเคราะห์ข้อมูลและประสิทธิภาพ 20 ปีของเรา ซึ่งได้มาจากฐานการติดตั้งระบบที่ใหญ่ที่สุดในโลกและประสบการณ์ด้านการบริการที่มาพร้อมกับระบบ เครือข่ายศูนย์บริการ วิศวกร และผู้เชี่ยวชาญทั่วโลกของเราหมายความว่าลูกค้าของเราจะได้รับการสนับสนุนที่จําเป็นอยู่เสมอโดยอิงตามข้อมูลจริง

ปริมาณไฮโดรเจนที่ติดไฟได้ที่เพิ่มขึ้นหมายความว่าเราออกแบบมาเพื่อความปลอดภัยในทุกที่ที่เป็นไปได้ โซลูชันของ Edwards ประกอบด้วยการตรวจสอบระบบเพื่อให้แน่ใจถึงการทํางานที่ปลอดภัยอย่างต่อเนื่องของทั้งเครื่องมือ EUV และระบบของ Edwards แต่ละระบบ