Mikä EUV Vizeon on?
EUV Vizeon on suunniteltu täyttämään nykypäivän vaatimukset ja tukemaan huomisen EUV-tiekarttoja. Yhdistämällä alipaineen tuottamisen, vedyn hallinnan, pakokaasujen käsittelyn ja koordinoidun ohjauksen yhdeksi modulaariseksi alustaksi se auttaa asiakkaita pienentämään jalanjälkeään, vähentämään energiankulutusta ja parantamaan tuottavuutta nykyisissä ja tulevissa EUV-sukupolvissa.
Integroitu alivalmistuksen tuki EUV-työkaluille
EUV Vizeon asennetaan alirakenteeseen ja liitetään suoraan yläpuolella olevaan EUV-litografiatyökaluun. Litografiatyökalu ei ole itsessään, vaan integroitu tukijärjestelmä, joka auttaa työkalua toimimaan tehokkaasti, luotettavasti ja turvallisesti. Alusta koordinoi alipaineen tuottamisen, vedyn käsittelyn, pakokaasujen hallinnan ja järjestelmän ohjauksen yhdessä optimoidussa arkkitehtuurissa.
EUV Vizeon on rakennettu modulaariseksi integroitujen lohkojen sarjaksi. Se yhdistää kehittyneet kuivapumput, tehostimet, pakokaasujen hallinnan, vedyn laimennuksen ja keskusohjauksen yhteen koordinoituun järjestelmään. Tämä modulaarinen rakenne auttaa yksinkertaistamaan integrointia ahtaisiin asennustiloihin ja tarjoaa asiakkaille skaalattavan ratkaisun, joka on linjassa prosessin ja laitoksen vaatimusten kanssa.
EUV Vizeon on suunniteltu täyttämään johtavien tehtaiden tiukat jalanjälkirajoitukset. Sen korkeus on alle 2 metriä, mikä vastaa asiakkaiden maailmanlaajuisia vaatimuksia. Pienentämällä tuotantotilojen kokoa ja korkeutta suorituskyvystä tinkimättä asiakkaat voivat käyttää arvokasta tuotantotilaa tehokkaammin.
Katso alla oleva video, jossa Richard Salloum, Edwardsin EUV Integrated Systemsin vanhempi tuotepäällikkö, kertoo EUV Vizionista ja siihen liittyvistä teknologioista.
Tärkeimmät ominaisuudet ja edut:
- Pienempi tilantarve parantaa tehokkuutta
- Pienempi energiankulutus
- Suunniteltu suuren vetyvirtauksen EUV-prosesseihin
Pienempi tilantarve parantaa tehokkuutta
EUV-litografiaprosessityökalun jalanjäljellä on suora vaikutus laitoksen kustannuksiin ja tuottavuuteen. EUV:n kaltaista porttityökalua varten alivalmistettujen laitteiden on tyypillisesti mahduttava tuetun työkalun varjoon. Kun EUV-prosessit vaativat enemmän tyhjiötä, poistoa ja tuki-infrastruktuuria, tilankäytön tehokkuudesta tulee kriittisen tärkeää.
Integroimalla kriittiset toiminnot yhteen koordinoituun alustaan EUV Vizeon auttaa vähentämään alivalmistuksen jalanjälkeä suorituskyvystä tinkimättä. Tämä lisää joustavuutta tehtaan asettelussa, tukee tulevaa kapasiteetin kasvua ja auttaa pienentämään kokonaiskustannuksia.
Pienempi energiankulutus
EUV-valaistuksen luomiseen tarvittava teho on huomattavasti suurempi kuin aiemmissa litografiasukupolvissa, mikä lisää tehtaan kaikkien tukijärjestelmien tarkkuutta. Asiakkaat tarkastelevat tarkasti apulaitteiden, kuten tyhjiöjärjestelmien, käyttökustannuksia, ympäristövaikutuksia ja yleistä energiatehokkuutta.
Edwardsin EUV Vizeon -järjestelmät vähentävät pumpun virrankulutusta 24 % aiempaan alustaamme verrattuna käyttämällä uusinta tekniikkaa pienitehoisista kuivapumpuistamme ja tehokkaista Rootsin pumppuistamme. Tuloksena on tehokkaampi EUV-tukijärjestelmä, joka auttaa asiakkaita vähentämään käyttökustannuksia ja tukee samalla kestävyystavoitteita.
Suunniteltu suuren vetyvirtauksen EUV-prosesseihin
Uusin 4. sukupolven integroitu alustamme, EUV Vizeon, tarjoaa tarvittavan suorituskyvyn vakaiden tyhjiötasojen ylläpitämiseen ja hallitsee samalla EUV-prosesseille välttämättömiä suuria vedyn virtausnopeuksia. Se on suunniteltu jopa 1 000 slm:n virtausnopeuksille ja tukee sekä loppukäyttäjien että EUV-työkalujen valmistajien kehittyviä tarpeita.
Testattuihin tyhjiötekniikoihin ja edistyneeseen järjestelmäintegraatioon perustuva EUV Vizeon yhdistää vankan pumppaustehon koordinoituun kaasunkäsittelyyn ja ohjaukseen. Tämä järjestelmätason lähestymistapa auttaa ylläpitämään prosessin vakautta tänään ja tukee samalla EUV-litografian ennakoitavaa tulevaisuutta.
Suunniteltu maksimoimaan käyttöaika
EUV-litografiaan tarvittavat suuret pääomainvestoinnit asettavat valmistajille kovan paineen maksimoida saatavuus ja saavuttaa hyväksyttävä tuotto. Subfab-näkökulmasta tämä tarkoittaa, että huolto on suunniteltava EUV-järjestelmän määräaikaishuollon mukaisesti aina, kun se on mahdollista.
Kun EUV-järjestelmät kypsyvät ja huoltoikkunat pienenevät, suunnittelemattomat häiriöt tulevat vielä kalliimmiksi. EUV Vizeon on suunniteltu luotettavaksi ja huollettavaksi, jotta alipainetuki ei muodostu työkalun tehon pullonkaulaksi.
Järjestelmämme sisältävät käyttövalmiiksi vaihdettavia pumppuja vikaturvallista varmuuskopiointia varten,ja suuret huoltotoimenpiteet voidaan suorittaa järjestelmän ollessa käytössä.
Viimeisimmät tiedot vahvistavat 99,9 %:n keskimääräisen käytettävyyden EUV-prosesseja tukevissa integroiduissa alipaine- ja poistokaasujen hallintajärjestelmissämme.
Turvallinen vedyn käsittely EUV-litografiassa
EUV-litografian turvallisuus riippuu suuresti siitä, miten suuria vetyvirtoja hallitaan. Perinteiset lähestymistavat, kuten hallittu poltto tai typen laimennus, voivat aiheuttaa merkittäviä taloudellisia ja ympäristökustannuksia, erityisesti kehittyneiden EUV-prosessien vaatimissa kaasumäärissä.
Edwards vastaa tähän haasteeseen innovatiivisella ilmalaimennusmenetelmällä, jota tukee syvällinen asiantuntemus syttyvyysrajoista, laimennustekniikoista ja alan turvallisuusstandardeista. Se on suunniteltu hallitsemaan vetyä turvallisesti ja parantamaan järjestelmän tehokkuutta.
Pitämällä kriittisen polun, jossa seos on syttyvää, hyvin lyhyenä ja tarkkaan valvottuna kaasu laimennetaan nopeasti syttymättömiksi pitoisuuksiksi, jotka voidaan sitten kuljettaa turvallisesti tehtaan läpi ja vapauttaa. Ilmalaimennus poistaa polttoainekustannukset ja hiilidioksidipäästöt hallitusta poltosta ja vältetään laimennuksen korkeat typpikustannukset.
Kestävä kehitys ja alhaisemmat kokonaiskustannukset
Edwards (osana Atlas Copcoa) on sitoutunut käyttämään Science Based Targets -aloitteen (SBTi) määrittelemää menetelmää saavuttaakseen nettonollapäästötavoitteensa. Näihin kuuluvat Edwardsin omien päästöjen, toimittajiemme päästöjen ja asiakkaidemme tuotteidemme käytöstä aiheutuvien päästöjen vähentäminen. SBTi edistää kunnianhimoisia ilmastotoimia alan sidosryhmien keskuudessa mahdollistamalla yritysten päästövähennystavoitteiden asettamisen johdonmukaisen, tieteeseen perustuvan menetelmän avulla.
Kestävä kehitys liittyy nykyään läheisesti tuottavuuteen, tehokkuuteen ja kokonaiskustannuksiin kehittyneessä puolijohteiden valmistuksessa. EUV Vizeon on suunniteltu vähentämään EUV-tuki-infrastruktuurin ympäristövaikutuksia pienemmän tehontarpeen, pienemmän sähkönkulutuksen ja vedyn talteenoton avulla. Aiempiin järjestelmiin verrattuna uusi integroitu järjestelmämme tuottaa 49 %:n kokonaisenergiaekvivalenttivähennyksen sekä merkittäviä vähennyksiä CO2-ekvivalenteissa ja kasvihuonekaasupäästöissä.
Integroitu tyhjiö, vedyn käsittely ja ohjaus EUV-litografiaan
Edwardsilla on ollut vuosikymmenten ajan keskeinen rooli EUV-litografian integroitujen alijärjestelmien kehittämisessä ja käyttöönotossa. Edwards toimittaa yli 200 tyhjiö- ja pakokaasujen hallintajärjestelmää ympäri maailmaa. EUV Vizeon perustuu tähän kokemukseen Edwardsin integroituna subfab-tukijärjestelmänä edistyneelle EUV-litografialle.
EUV-litografiaa käytetään kehittyneimpien logiikkasirujen ja suuren kaistanleveyden muistin valmistamiseen. Se riippuu vakaasta tyhjiöstä, suuresta vedyn virtauksesta, tarkasta pakokaasujen hallinnasta ja maksimaalisesta käytettävyydestä tiukasti valvotussa puhdastila- ja alivalmistusympäristössä. Kun EUV on siirtynyt kehittyvästä teknologiasta suuren volyymin tuotantoon, alivalmistusjärjestelmien vaatimukset ovat kasvaneet dramaattisesti.
