Čo je EUV Vizeon?
Systém EUV Vizeon je navrhnutý tak, aby spĺňal dnešné požiadavky a zároveň podporoval plány EUV zajtrajška. Kombináciou výroby vákua, riadenia vodíka, manipulácie s výfukovými plynmi a koordinovaného riadenia v jednej modulárnej platforme pomáha zákazníkom znižovať pôdorysné rozmery, znižovať spotrebu energie a zlepšovať produktivitu v rámci súčasných a budúcich generácií EUV.
Integrovaná podpora subfab pre nástroje EUV
Systém EUV Vizeon je nainštalovaný v subfab a priamo pripojený k vyššie uvedenému nástroju na EUV litografiu. Nie je to samotný litografický nástroj, ale integrovaný podporný systém, ktorý pomáha nástroju pracovať efektívne, spoľahlivo a bezpečne. Platforma koordinuje vytváranie podtlaku, manipuláciu s vodíkom, riadenie výfukových plynov a riadenie systému v jednej optimalizovanej architektúre.
Systém EUV Vizeon, ktorý je postavený ako modulárna séria integrovaných plátkov, kombinuje pokročilé suché čerpadlá, posilňovače, riadenie výfukových plynov, riedenie vodíka a centrálne ovládanie do jedného koordinovaného systému. Táto modulárna konštrukcia pomáha zjednodušiť integráciu do stiesnených priestorov podfabriky a poskytuje zákazníkom škálovateľné riešenie prispôsobené ich požiadavkám na procesy a zariadenia.
Zariadenie EUV Vizeon je navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne obmedzenia vedúcich výrobných závodov,so zníženou výškou menej ako 2 metre, aby vyhovovalo globálnym požiadavkám zákazníkov. Znížením rozlohy a výšky podfabriky pri súčasnom zachovaní výkonu pomáha zákazníkom efektívnejšie využívať cenný výrobný priestor.
Pozrite si nižšie uvedené video s Richardom Salloumom, hlavným produktovým manažérom pre integrované systémy EUV v spoločnosti Edwards, aby ste sa dozvedeli viac o vízii EUV a súvisiacich technológiách
Hlavné funkcie a výhody:
- Menší pôdorys pre vyššiu efektivitu výroby
- Nižšia spotreba energie
- Vyrobené pre procesy EUV s vysokým prietokom vodíka
Menší pôdorys pre vyššiu efektivitu výroby
Pôdorys procesného nástroja na EUV litografiu má priamy vplyv na náklady na zariadenie a produktivitu výroby. V prípade nástroja na uzamknutie, ako je EUV, musí zariadenie subfab typicky zapadať do tieňa stopy nástroja, ktorý podporuje. Keďže procesy EUV si vyžadujú viac vákua, odsávania a podpornej infraštruktúry, efektívnosť priestoru sa stáva kritickou.
Integráciou kritických funkcií do jednej koordinovanej platformy pomáha EUV Vizeon znižovať stopu subfab bez zníženia výkonu. To vytvára väčšiu flexibilitu pre usporiadanie závodu, podporuje budúci rast kapacity a prispieva k nižším celkovým nákladom na vlastníctvo.
Nižšia spotreba energie
Výkon potrebný na vytvorenie osvetlenia EUV je výrazne vyšší ako v predchádzajúcich generáciách litografie, čo zvyšuje kontrolu každého podporného systému vo výrobni. Zákazníci sa dôkladne zaoberajú nákladmi na energie, vplyvom na životné prostredie a celkovou energetickou účinnosťou pomocných zariadení, ako sú podtlakové systémy.
Systémy Edwards EUV Vizeon poskytujú zníženie spotreby energie čerpadla o 24 % v porovnaní s našou predchádzajúcou platformou použitím najnovšej technológie z našich suchých čerpadiel s nízkym výkonom a vysokovýkonných posilňovačov. Výsledkom je efektívnejší systém podpory EUV, ktorý pomáha zákazníkom znižovať prevádzkové náklady a zároveň podporuje ciele udržateľnosti.
Vyrobené pre procesy EUV s vysokým prietokom vodíka
Naša najnovšia integrovaná platforma 4. generácie, EUV Vizeon, poskytuje výkon potrebný na udržiavanie stabilných úrovní vákua pri súčasnom riadení vysokých prietokov vodíka, ktoré sú nevyhnutné pre procesy EUV. Je navrhnutý s ohľadom na prietoky až do 1 000 slm a podporuje vyvíjajúce sa potreby koncových používateľov aj výrobcov nástrojov EUV.
EUV Vizeon, postavený na osvedčených vákuových technológiách a pokročilej integrácii systému, kombinuje robustný výkon čerpania s koordinovanou manipuláciou s plynom a riadením. Tento prístup na úrovni systému pomáha udržiavať stabilitu procesu dnes a zároveň podporuje predvídateľnú budúcnosť EUV litografie.
Maximálny čas prevádzky
Vysoké kapitálové investície potrebné na EUV litografiu vyvíjajú intenzívny tlak na výrobcov, aby maximalizovali dostupnosť a dosiahli prijateľné výnosy. Z perspektívy subvýroby to znamená, že údržba musí byť naplánovaná tak, aby bola v súlade s plánovanou údržbou systému EUV tam, kde je to možné.
Keďže systémy EUV dozrievajú a intervaly údržby sa skracujú, neplánované prerušenia sa stávajú ešte nákladnejšími. Zariadenie EUV Vizeon je navrhnuté pre spoľahlivosť a jednoduchosť servisu, takže podpora vákua sa nestane prekážkou pri výrobe nástrojov.
Naše systémy obsahujú čerpadlá, ktoré je možné vymieňať za chodu, na zabezpečenie zálohy v prípade poruchy a veľké postupy údržby je možné vykonávať, kým je systém online.
Najnovšie údaje potvrdzujú priemernú dostupnosť 99,9 % v rámci našich integrovaných systémov na riadenie podtlaku a výfukových plynov, ktoré podporujú procesy EUV.
Bezpečná manipulácia s vodíkom v EUV litografii
Bezpečnosť pri EUV litografii do veľkej miery závisí od toho, ako sa riadia vysoké prietoky vodíka. Konvenčné prístupy, ako je riadené spaľovanie alebo riedenie dusíka, môžu pridať významné ekonomické a environmentálne náklady, najmä pri objemoch plynu požadovaných pokročilými procesmi EUV.
Spoločnosť Edwards rieši túto výzvu inovatívnym prístupom k riedeniu vzduchu, ktorý je podporovaný hlbokými odbornými znalosťami v oblasti limitov horľavosti, technológií riedenia a priemyselných bezpečnostných noriem. Je navrhnutý tak, aby bezpečne riadil vodík a zároveň zlepšoval účinnosť systému.
Udržiavaním kritickej dráhy, kde je zmes horľavá, veľmi krátka a starostlivo monitorovaná, sa plyn rýchlo zriedi na nehorľavé koncentrácie, ktoré sa potom môžu bezpečne prenášať cez závod a uvoľňovať. Riedenie vzduchu eliminuje náklady na palivo a emisie uhlíka pri riadenom spaľovaní a zabraňuje vysokým nákladom na riedenie dusíkom.
Udržateľnosť a nižšie celkové náklady na vlastníctvo
Spoločnosť Edwards (ako súčasť spoločnosti Atlas Copco) sa zaviazala používať metodiku definovanú iniciatívou Science Based Targets (SBTi) na dosiahnutie svojho cieľa nulových emisií skleníkových plynov. Medzi ne patrí zníženie vlastných emisií spoločnosti Edwards, emisií našich dodávateľov a emisií vyplývajúcich z používania našich výrobkov našimi zákazníkmi. Iniciatíva SBTi podporuje ambiciózne opatrenia v oblasti klímy medzi zainteresovanými stranami v odvetví tým, že umožňuje spoločnostiam stanoviť ciele zníženia emisií pomocou konzistentnej vedecky podloženej metodiky.
Udržateľnosť je v súčasnosti úzko spojená s produktivitou, efektivitou využívania zdrojov a celkovými nákladmi na vlastníctvo pri pokročilej výrobe polovodičov. EUV Vizeon je navrhnutý tak, aby znížil vplyv podpornej infraštruktúry EUV na životné prostredie prostredníctvom nižšej spotreby energie, zníženej spotreby energie a rekuperácie vodíka. V porovnaní s predchádzajúcimi systémami náš nový integrovaný systém poskytuje zníženie celkového energetického ekvivalentu o 49 % spolu s významnými zníženiami ekvivalentu CO2 a emisií skleníkových plynov.
Integrované vákuum, manipulácia s vodíkom a riadenie pre EUV litografiu
V priebehu desaťročí zohrávala spoločnosť Edwards ústrednú úlohu pri vývoji a zavádzaní integrovaných subsystémov EUV litografie a dodáva viac ako 200 systémov na vákuovú a výfukovú reguláciu na celom svete. Spoločnosť EUV Vizeon stavia na týchto skúsenostiach ako integrovaný systém podpory subfab spoločnosti Edwards pre pokročilú EUV litografiu.
EUV litografia sa používa na výrobu najpokročilejších logických čipov a vysokofrekvenčnej pamäte. Závisí to od stabilného vákua, vysokého prietoku vodíka, presného riadenia výfukových plynov a maximálneho času prevádzky v prísne kontrolovanom čistom priestore a subfab prostredí. Keďže EUV sa presunula z rozvíjajúcej sa technológie na veľkoobjemovú výrobu, požiadavky na subfab systémy sa dramaticky rozšírili.
