Czym jest EUV Vizeon?
EUV Vizeon został zaprojektowany z myślą o spełnieniu dzisiejszych wymagań, jednocześnie wspierając przyszłe mapy drogowe EUV. Łącząc wytwarzanie próżni, zarządzanie wodorem, obsługę spalin i skoordynowane sterowanie w jednej modułowej platformie, pomaga klientom zmniejszyć ślad węglowy, obniżyć zużycie mediów i poprawić wydajność w obecnych i przyszłych generacjach EUV.
Zintegrowane wsparcie podfabryczne dla narzędzi EUV
EUV Vizeon jest instalowany w podfabryce i bezpośrednio podłączony do powyższego narzędzia do litografii EUV. Nie jest to samo narzędzie litograficzne, ale zintegrowany system wsparcia, który pomaga w wydajnej, niezawodnej i bezpiecznej pracy narzędzia. Platforma koordynuje wytwarzanie próżni, obsługę wodoru, zarządzanie spalinami i sterowanie systemem w jednej zoptymalizowanej architekturze.
EUV Vizeon, zbudowany jako modułowa seria zintegrowanych płytek, łączy zaawansowane pompy suche, pompy wspomagające, zarządzanie spalinami, rozcieńczanie wodorem i centralne sterowanie w jednym skoordynowanym systemie. Ta modułowa konstrukcja pomaga uprościć integrację w ciasnych przestrzeniach podfabrycznych i zapewnia klientom skalowalne rozwiązanie dostosowane do ich wymagań procesowych i zakładowych.
EUV Vizeon został zaprojektowany z myślą o spełnieniu rygorystycznych ograniczeń w zakresie zajmowanej powierzchni wiodących fabryk, przy zmniejszonej wysokości poniżej 2 metrów, aby spełnić globalne wymagania klientów. Zmniejszając zajmowaną powierzchnię i wysokość podfabryki przy jednoczesnym zachowaniu wydajności, pomaga klientom efektywniej wykorzystywać cenną przestrzeń fabryki.
Obejrzyj poniższy film z Richardem Salloumem, starszym menedżerem produktu ds. systemów zintegrowanych EUV w firmie Edwards, aby dowiedzieć się więcej o technologii EUV i powiązanych z nią technologiach
Najważniejsze cechy i korzyści:
- Mniejsze gabaryty dla lepszej wydajności fabryki
- Niższe zużycie energii
- Zaprojektowane do procesów EUV z dużym przepływem wodoru
Mniejsze gabaryty dla lepszej wydajności fabryki
Ślad węglowy narzędzia do litografii EUV ma bezpośredni wpływ na koszty obiektu i wydajność fabryki. W przypadku narzędzia synchronizującego, takiego jak EUV, sprzęt podfabryczny musi zazwyczaj mieścić się w zacienionym obszarze obsługującego go narzędzia. Ponieważ procesy EUV wymagają większej próżni, wyciągu i infrastruktury pomocniczej, efektywność przestrzenna staje się kluczowa.
Integrując kluczowe funkcje w jednej skoordynowanej platformie, EUV Vizeon pomaga zmniejszyć ślad węglowy podfabryki bez uszczerbku dla wydajności. Zapewnia to większą elastyczność układu fabryki, wspiera przyszły wzrost wydajności i przyczynia się do obniżenia całkowitego kosztu posiadania.
Niższe zużycie energii
Moc wymagana do stworzenia oświetlenia EUV jest znacznie wyższa niż w poprzednich generacjach litografii, zwiększając kontrolę każdego systemu pomocniczego w fabryce. Klienci zwracają szczególną uwagę na koszty mediów, wpływ na środowisko i ogólną efektywność energetyczną urządzeń pomocniczych, takich jak systemy próżniowe.
Systemy EUV Vizeon firmy Edwards zapewniają 24% redukcję zużycia energii przez pompę w porównaniu z naszą poprzednią platformą, wykorzystując najnowszą technologię naszych suchych pomp o niskiej mocy i wysokowydajnych pomp wspomagających. W rezultacie powstał bardziej wydajny system wsparcia EUV, który pomaga klientom obniżyć koszty operacyjne, jednocześnie wspierając cele w zakresie zrównoważonego rozwoju.
Zaprojektowane do procesów EUV z dużym przepływem wodoru
Nasza najnowsza zintegrowana platforma 4. generacji, EUV Vizeon, zapewnia wydajność niezbędną do utrzymania stabilnych poziomów próżni przy jednoczesnym zarządzaniu wysokimi natężeniami przepływu wodoru niezbędnymi w procesach EUV. Zaprojektowany z myślą o natężeniu przepływu do 1000 slm, spełnia zmieniające się potrzeby zarówno użytkowników końcowych, jak i producentów narzędzi EUV.
EUV Vizeon, oparty na sprawdzonych technologiach próżniowych i zaawansowanej integracji systemu, łączy solidną wydajność pompowania ze skoordynowaną obsługą i kontrolą gazu. To podejście na poziomie systemu pomaga utrzymać stabilność procesu dzisiaj, jednocześnie wspierając przewidywalną przyszłość litografii EUV.
Maksymalny czas sprawnego działania
Wysokie inwestycje kapitałowe wymagane do litografii EUV wywierają silną presję na producentów w celu maksymalizacji dostępności i osiągnięcia akceptowalnych zwrotów. Z perspektywy podfabryki oznacza to, że konserwacja musi być zaplanowana tak, aby w miarę możliwości była zgodna z zaplanowaną konserwacją systemu EUV.
W miarę dojrzewania systemów EUV i zmniejszania się okresów konserwacji nieplanowane zakłócenia stają się jeszcze bardziej kosztowne. EUV Vizeon został zaprojektowany z myślą o niezawodności i łatwości serwisowania, dzięki czemu wspomaganie próżniowe nie staje się wąskim gardłem dla wydajności narzędzia.
Nasze systemy zawierają pompy wymienne podczas pracy, zapewniające bezpieczeństwo awaryjne,a poważne procedury konserwacyjne mogą być wykonywane, gdy system pozostaje w trybie online.
Najnowsze dane potwierdzają średnią dostępność 99,9% w naszych zintegrowanych systemach zarządzania próżnią i spalinami obsługujących procesy EUV.
Bezpieczna obsługa wodoru w litografii EUV
Bezpieczeństwo w litografii EUV w dużym stopniu zależy od sposobu zarządzania dużymi przepływami wodoru. Konwencjonalne podejścia, takie jak kontrolowane spalanie lub rozcieńczanie azotu, mogą powodować znaczne koszty ekonomiczne i środowiskowe, zwłaszcza przy objętościach gazu wymaganych w zaawansowanych procesach EUV.
Firma Edwards radzi sobie z tym wyzwaniem dzięki innowacyjnemu podejściu do rozcieńczania powietrzem, wspieranemu przez głęboką wiedzę specjalistyczną w zakresie granic palności, technologii rozcieńczania i norm bezpieczeństwa przemysłowego. Została zaprojektowana do bezpiecznego zarządzania wodorem przy jednoczesnej poprawie wydajności systemu.
Utrzymując bardzo krótką i starannie monitorowaną ścieżkę krytyczną, w której mieszanina jest łatwopalna, gaz jest szybko rozcieńczany do stężeń niepalnych, które mogą być następnie bezpiecznie transportowane przez fabrykę i uwalniane. Rozcieńczanie powietrza eliminuje koszty paliwa i emisję dwutlenku węgla z kontrolowanego spalania oraz unika wysokich kosztów rozcieńczania azotem.
Zrównoważony rozwój i niższy całkowity koszt posiadania
Firma Edwards (jako część Atlas Copco) zobowiązuje się do stosowania metodologii określonej przez inicjatywę Science Based Targets (SBTi) w celu osiągnięcia celu zerowej emisji gazów cieplarnianych. Obejmują one redukcję własnych emisji firmy Edwards, emisji naszych dostawców oraz emisji wynikających z użytkowania naszych produktów przez naszych klientów. Inicjatywa SBTi napędza ambitne działania na rzecz klimatu wśród interesariuszy przemysłowych, umożliwiając firmom wyznaczanie celów redukcji emisji przy użyciu spójnej, opartej na nauce metodologii.
Zrównoważony rozwój jest obecnie ściśle powiązany z produktywnością, efektywnością użytkową i całkowitym kosztem posiadania w zaawansowanej produkcji półprzewodników. EUV Vizeon został zaprojektowany w celu zmniejszenia wpływu infrastruktury wspierającej EUV na środowisko poprzez zmniejszenie zapotrzebowania na energię, zmniejszenie zużycia mediów i odzyskiwania wodoru. W porównaniu z poprzednimi systemami nasz nowy zintegrowany system zapewnia 49% redukcję całkowitego ekwiwalentu energetycznego wraz ze znaczną redukcją ekwiwalentu CO2 i emisji gazów cieplarnianych.
Zintegrowana próżnia, obsługa wodoru i sterowanie do litografii EUV
Od dziesięcioleci firma Edwards odgrywa kluczową rolę w opracowywaniu i wdrażaniu zintegrowanych podsystemów do litografii EUV, dostarczając ponad 200 systemów próżniowych i systemów zarządzania spalinami na całym świecie. EUV Vizeon opiera się na tym doświadczeniu jako zintegrowany system wsparcia podfabrycznego firmy Edwards do zaawansowanej litografii EUV.
Litografia EUV jest stosowana do produkcji najbardziej zaawansowanych układów logicznych i pamięci o dużej przepustowości. Zależy to od stabilnego podciśnienia, wysokiego przepływu wodoru, precyzyjnego zarządzania spalinami i maksymalnego czasu sprawnego działania w ściśle kontrolowanym środowisku pomieszczeń czystych i podfabryk. W miarę przejścia od nowej technologii do produkcji wielkoseryjnej, wymagania dotyczące systemów podfabryk znacznie wzrosły.
