EUV Vizeon là gì?
EUV Vizeon được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu hiện tại đồng thời hỗ trợ lộ trình EUV của ngày mai. Bằng cách kết hợp tạo chân không, quản lý hydro, xử lý khí thải và điều khiển phối hợp trong một nền tảng mô-đun, thiết bị này giúp khách hàng giảm diện tích, giảm tiêu thụ tiện ích và cải thiện năng suất trên các thế hệ EUV hiện tại và tương lai.
Tích hợp hỗ trợ subfab cho các công cụ EUV
EUV Vizeon được lắp đặt trong nhà máy phụ và được kết nối trực tiếp với công cụ in litho EUV ở trên. Không phải chính công cụ in litho mà là hệ thống hỗ trợ tích hợp giúp công cụ vận hành hiệu quả, đáng tin cậy và an toàn. Nền tảng này điều phối việc tạo chân không, xử lý hydro, quản lý khí thải và kiểm soát hệ thống trong một cấu trúc tối ưu.
Được xây dựng dưới dạng một loạt các lát tích hợp dạng mô-đun, EUV Vizeon kết hợp bơm khô tiên tiến, bộ tăng áp, quản lý khí thải, pha loãng hydro và điều khiển trung tâm thành một hệ thống phối hợp. Thiết kế mô-đun này giúp đơn giản hóa việc tích hợp trong không gian hẹp của nhà máy phụ và cung cấp cho khách hàng một giải pháp có thể mở rộng phù hợp với yêu cầu quy trình và cơ sở của họ.
EUV Vizeon được thiết kế để đáp ứng các hạn chế về diện tích chiếm dụng nghiêm ngặt của các nhà máy sản xuất hàng đầu, với chiều cao giảm xuống dưới 2 mét để phù hợp với yêu cầu của khách hàng toàn cầu. Bằng cách giảm diện tích và chiều cao phụ của nhà máy đồng thời duy trì hiệu suất, thiết bị này giúp khách hàng sử dụng không gian nhà máy quý giá hiệu quả hơn.
Xem video dưới đây với Richard Salloum, Giám đốc Sản phẩm Cấp cao cho Hệ thống Tích hợp EUV của Edwards để tìm hiểu về EUV Vizion và các công nghệ liên quan
Các tính năng và lợi ích chính:
- Dấu chân nhỏ hơn cho hiệu quả nhà máy tốt hơn
- Giảm tiêu thụ điện năng
- Được chế tạo cho các quy trình EUV lưu lượng hydro cao
Dấu chân nhỏ hơn cho hiệu quả nhà máy tốt hơn
Dấu chân của một công cụ quy trình in litho EUV có tác động trực tiếp đến chi phí cơ sở và năng suất nhà máy. Đối với một công cụ gating như EUV, thiết bị phụ của nhà máy thường phải phù hợp với dấu chân của công cụ mà nó hỗ trợ. Khi các quy trình EUV đòi hỏi nhiều chân không, khí thải và cơ sở hạ tầng hỗ trợ hơn, hiệu quả không gian trở nên quan trọng.
Bằng cách tích hợp các chức năng quan trọng vào một nền tảng phối hợp, EUV Vizeon giúp giảm diện tích phụ của nhà máy mà không ảnh hưởng đến hiệu suất. Điều này tạo ra sự linh hoạt hơn cho bố cục nhà máy, hỗ trợ tăng trưởng công suất trong tương lai và góp phần giảm tổng chi phí sở hữu.
Giảm tiêu thụ điện năng
Công suất cần thiết để tạo chiếu sáng EUV cao hơn đáng kể so với các thế hệ in litho trước đó, tăng cường kiểm tra mọi hệ thống hỗ trợ trong nhà máy. Khách hàng đang xem xét kỹ chi phí tiện ích, tác động môi trường và hiệu quả năng lượng tổng thể của các thiết bị phụ trợ như hệ thống chân không.
Hệ thống EUV Vizeon của Edwards giúp giảm 24% mức tiêu thụ điện năng của bơm so với nền tảng trước đó của chúng tôi bằng cách sử dụng công nghệ mới nhất từ bơm khô công suất thấp và bộ tăng áp hiệu suất cao của chúng tôi. Kết quả là một hệ thống hỗ trợ EUV hiệu quả hơn giúp khách hàng giảm chi phí vận hành đồng thời hỗ trợ các mục tiêu bền vững.
Được chế tạo cho các quy trình EUV lưu lượng hydro cao
Nền tảng tích hợp thế hệ thứ 4 mới nhất của chúng tôi, EUV Vizeon, cung cấp hiệu suất cần thiết để duy trì mức chân không ổn định đồng thời quản lý tốc độ dòng hydro cao cần thiết cho quy trình EUV. Được thiết kế với lưu lượng lên đến 1000 slm, nó hỗ trợ nhu cầu phát triển của cả người dùng cuối và OEM công cụ EUV.
Được xây dựng xung quanh các công nghệ chân không đã được chứng minh và tích hợp hệ thống tiên tiến, EUV Vizeon kết hợp hiệu suất bơm mạnh mẽ với việc xử lý và kiểm soát khí phối hợp. Phương pháp tiếp cận cấp hệ thống này giúp duy trì sự ổn định của quy trình ngày nay đồng thời hỗ trợ tương lai có thể dự đoán trước của công nghệ in litho EUV.
Tối đa hóa thời gian hoạt động
Đầu tư vốn cao cần thiết cho in litho EUV đặt áp lực mạnh mẽ lên các nhà sản xuất để tối đa hóa tính khả dụng và đạt được lợi nhuận chấp nhận được. Từ góc độ nhà máy phụ, điều đó có nghĩa là việc bảo trì phải được lên kế hoạch để phù hợp với việc bảo trì hệ thống EUV theo lịch trình bất cứ khi nào có thể.
Khi hệ thống EUV trưởng thành và khoảng thời gian bảo trì giảm, gián đoạn ngoài kế hoạch trở nên tốn kém hơn. EUV Vizeon được thiết kế để đảm bảo độ tin cậy và khả năng bảo dưỡng, do đó hỗ trợ chân không không trở thành nút cổ chai cho công cụ.
Hệ thống của chúng tôi bao gồm các bơm có thể thay thế nóng để dự phòng an toàn,và các quy trình bảo trì chính có thể được thực hiện trong khi hệ thống vẫn trực tuyến.
Dữ liệu mới nhất xác nhận tính khả dụng trung bình 99,9% trên toàn bộ hệ thống quản lý chân không và khí thải tích hợp của chúng tôi hỗ trợ các quy trình EUV.
Xử lý hydro an toàn trong in litho EUV
An toàn trong in litho EUV phụ thuộc nhiều vào việc quản lý lưu lượng hydro cao như thế nào. Các phương pháp thông thường như đốt cháy được kiểm soát hoặc pha loãng nitơ có thể làm tăng đáng kể chi phí kinh tế và môi trường, đặc biệt là ở khối lượng khí cần thiết cho các quy trình EUV tiên tiến.
Edwards giải quyết thách thức này với phương pháp pha loãng không khí sáng tạo, được hỗ trợ bởi chuyên môn sâu rộng về giới hạn dễ cháy, công nghệ pha loãng và tiêu chuẩn an toàn công nghiệp. Nó được thiết kế để quản lý hydro một cách an toàn đồng thời cải thiện hiệu quả hệ thống.
Bằng cách giữ cho đường dẫn quan trọng, nơi hỗn hợp dễ cháy, rất ngắn và được theo dõi cẩn thận, khí được pha loãng nhanh chóng đến nồng độ không dễ cháy, sau đó có thể được vận chuyển an toàn qua nhà máy và được giải phóng. Pha loãng không khí giúp loại bỏ chi phí nhiên liệu và phát thải carbon của quá trình đốt cháy có kiểm soát và tránh chi phí cao của nitơ để pha loãng.
Tính bền vững và tổng chi phí sở hữu thấp hơn
Edwards (là một phần của Atlas Copco) cam kết sử dụng phương pháp được xác định bởi sáng kiến Science Based-Targets (SBTi) để đạt được mục tiêu không phát thải khí nhà kính. Các biện pháp này bao gồm giảm phát thải của chính Edwards, phát thải của nhà cung cấp và phát thải do khách hàng sử dụng sản phẩm của chúng tôi. SBTi thúc đẩy hành động khí hậu đầy tham vọng giữa các bên liên quan trong ngành bằng cách cho phép các công ty đặt ra các mục tiêu giảm phát thải bằng cách sử dụng phương pháp tiếp cận nhất quán, dựa trên khoa học.
Sự bền vững hiện nay liên quan chặt chẽ đến năng suất, hiệu quả tiện ích và tổng chi phí sở hữu trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. EUV Vizeon được thiết kế để giảm tác động môi trường của cơ sở hạ tầng hỗ trợ EUV thông qua nhu cầu điện thấp hơn, giảm tiêu thụ tiện ích và thu hồi hydro. So với các hệ thống trước đó, hệ thống tích hợp mới của chúng tôi giúp giảm 49% tổng mức tương đương năng lượng cùng với việc giảm đáng kể lượng khí thải tương đương CO2 và khí nhà kính.
Chân không tích hợp, xử lý và kiểm soát hydro cho in litho EUV
Trong nhiều thập kỷ, Edwards đã đóng một vai trò trung tâm trong việc phát triển và triển khai các hệ thống phụ tích hợp litho EUV, cung cấp hơn 200 hệ thống quản lý chân không và khí thải trên toàn thế giới. EUV Vizeon xây dựng dựa trên kinh nghiệm đó với tư cách là hệ thống hỗ trợ nhà máy phụ tích hợp của Edwards cho công nghệ in litho EUV tiên tiến.
Quy trình in litho EUV được sử dụng để sản xuất các chip logic tiên tiến nhất và bộ nhớ băng thông cao. Điều này phụ thuộc vào chân không ổn định, lưu lượng hydro cao, quản lý khí thải chính xác và thời gian hoạt động tối đa trong môi trường phòng sạch và nhà máy phụ được kiểm soát chặt chẽ. Khi EUV chuyển từ công nghệ mới nổi sang sản xuất khối lượng lớn, nhu cầu về hệ thống nhà máy phụ đã mở rộng đáng kể.
