O que é o EUV Vizeon?
A EUV Vizeon foi concebida para satisfazer os requisitos atuais, ao mesmo tempo que apoia os roteiros futuros da EUV. Ao combinar geração de vácuo, gestão de hidrogénio, tratamento de gases de escape e controlo coordenado numa única plataforma modular, ajuda os clientes a reduzir a área ocupada, diminuir o consumo de utilidades e melhorar a produtividade nas gerações atuais e futuras da EUV.
Suporte integrado sub-fab para ferramentas EUV
EUV Vizeon está instalado no sub-fab e diretamente ligado à ferramenta de litografia EUV acima. Não é a própria ferramenta de litografia, mas o sistema de suporte integrado que ajuda a ferramenta a funcionar de forma eficiente, fiável e segura. A plataforma coordena a geração de vácuo, o manuseamento de hidrogénio, a gestão dos gases de escape e o controlo do sistema numa arquitetura otimizada.
Construído como uma série modular de fatias integradas, o EUV Vizeon combina bombas a seco avançadas, boosters, gestão de gases de escape, diluição de hidrogénio e controlo central num sistema coordenado. Este design modular ajuda a simplificar a integração em espaços sub-fab apertados e oferece aos clientes uma solução escalável alinhada com os seus requisitos de processo e instalações.
EUV Vizeon foi concebido para cumprir as rigorosas restrições de espaço das principais fábricas, com uma altura reduzida de menos de 2 metros para atender aos requisitos globais dos clientes. Ao reduzir a área e a altura do sub-fab mantendo o desempenho, ajuda os clientes a utilizar o espaço valioso da fábrica de forma mais eficiente.
Assista ao vídeo abaixo com Richard Salloum, Gestor Sénior de Produto para Sistemas Integrados EUV da Edwards, para aprender sobre o EUV Vizion e tecnologias relacionadas.
Principais características e benefícios:
- Pegada reduzida para melhor eficiência da fábrica
- Menor consumo de energia e utilidades
- Construído para processos EUV com alto caudal de hidrogênio
Pegada mais pequena para melhor eficiência da fábrica
A área ocupada por uma ferramenta de processo de litografia EUV tem um impacto direto nos custos das instalações e na produtividade da fábrica. Para uma ferramenta de bloqueio como a EUV, os equipamentos sub-fábrica devem normalmente caber dentro da sombra da área ocupada pela ferramenta que suportam. À medida que os processos EUV exigem mais vácuo, exaustão e infraestrutura de suporte, a eficiência do espaço torna-se crítica.
Ao integrar funções críticas numa plataforma coordenada, o EUV Vizeon ajuda a reduzir a área ocupada no sub-fab sem comprometer o desempenho. Isto cria mais flexibilidade para o layout do fab, apoia o crescimento futuro da capacidade e contribui para um custo total de propriedade mais baixo.
Menor consumo de energia e utilidades
A potência necessária para criar a iluminação EUV é significativamente maior do que nas gerações anteriores de litografia, aumentando a análise de cada sistema de suporte na fábrica. Os clientes estão a observar atentamente os custos das utilidades, o impacto ambiental e a eficiência energética global dos equipamentos auxiliares como os sistemas de vácuo.
Os sistemas Edwards EUV Vizeon proporcionam uma redução de 24% no consumo de energia das bombas em comparação com a nossa plataforma anterior, ao utilizarem a mais recente tecnologia das nossas bombas secas de baixo consumo e dos boosters de alto desempenho. O resultado é um sistema de suporte EUV mais eficiente que ajuda os clientes a reduzir os custos operacionais enquanto apoiam os objetivos de sustentabilidade.
Construído para processos EUV com alto caudal de hidrogénio
A nossa mais recente plataforma integrada de 4.ª geração, EUV Vizeon, oferece o desempenho necessário para manter níveis estáveis de vácuo enquanto gere os elevados caudais de hidrogénio essenciais aos processos EUV. Projetada com caudais até 1000 slm em mente, suporta as necessidades em evolução tanto dos utilizadores finais como dos OEMs de ferramentas EUV.
Construído com base em tecnologias de vácuo comprovadas e integração avançada de sistemas, o EUV Vizeon combina desempenho robusto de bombagem com manuseamento e controlo coordenados de gases. Esta abordagem ao nível do sistema ajuda a manter a estabilidade do processo hoje, ao mesmo tempo que apoia o futuro previsível da litografia EUV.
Projetado para maximizar o tempo de atividade
O elevado investimento de capital exigido para a litografia EUV exerce uma pressão intensa sobre os fabricantes para maximizar a disponibilidade e alcançar retornos aceitáveis. Do ponto de vista do sub-fab, isso significa que a manutenção deve ser planeada para alinhar-se com a manutenção programada do sistema EUV sempre que possível.
À medida que os sistemas EUV amadurecem e as janelas de manutenção se reduzem, as interrupções não planeadas tornam-se ainda mais dispendiosas. O EUV Vizeon é concebido para fiabilidade e facilidade de manutenção, para que o suporte de vácuo não se torne um gargalo na produção da ferramenta.
Os nossos sistemas incluem bombas hot-swappable para backup à prova de falhas, e os principais procedimentos de manutenção podem ser realizados enquanto o sistema permanece online.
Os dados mais recentes confirmam uma disponibilidade média de 99,9% em nossos sistemas integrados de gestão de vácuo e exaustão que suportam os processos EUV.
Manuseamento seguro de hidrogénio na litografia EUV
A segurança na litografia EUV depende fortemente de como são geridos os caudais elevados de hidrogénio. Abordagens convencionais, como a queima controlada ou a diluição com azoto, podem acrescentar custos económicos e ambientais significativos, especialmente nos volumes de gás exigidos pelos processos avançados de EUV.
Edwards aborda este desafio com uma abordagem inovadora de diluição de ar, apoiada por uma profunda especialização em limites de inflamabilidade, tecnologias de diluição e normas de segurança da indústria. Foi concebida para gerir o hidrogénio de forma segura enquanto melhora a eficiência do sistema.
Mantendo o caminho crítico onde a mistura é inflamável muito curto e cuidadosamente monitorizado, o gás é rapidamente diluído até concentrações não inflamáveis que podem então ser transportadas com segurança através da fábrica e libertadas. A diluição com ar elimina o custo do combustível e as emissões de carbono da queima controlada e evita o elevado custo do azoto para diluição.
Sustentabilidade e menor custo total de propriedade
A Edwards (como parte da Atlas Copco) está comprometida em utilizar a metodologia definida pela iniciativa Science Based-Targets (SBTi) para alcançar o seu objetivo de emissões líquidas zero de gases com efeito de estufa. Isto inclui a redução das emissões próprias da Edwards, as emissões dos nossos fornecedores e as emissões resultantes do uso dos nossos produtos pelos nossos clientes. A SBTi impulsiona uma ação climática ambiciosa entre os intervenientes da indústria, permitindo que as empresas definam metas de redução de emissões utilizando uma metodologia consistente e baseada na ciência.
A sustentabilidade está agora estreitamente ligada à produtividade, eficiência dos serviços públicos e custo total de propriedade na fabricação avançada de semicondutores. O EUV Vizeon foi projetado para reduzir o impacto ambiental da infraestrutura de suporte EUV através de menor demanda de energia, redução do consumo de serviços públicos e recuperação de hidrogênio. Comparado com sistemas anteriores, nosso novo sistema integrado oferece uma redução equivalente a 49% no total de energia juntamente com reduções significativas nas emissões equivalentes de CO2 e gases de efeito estufa.
Vacuum integrado, manuseamento e controlo de hidrogénio para litografia EUV
Ao longo de décadas, a Edwards desempenhou um papel central no desenvolvimento e implementação de sistemas integrados de sub-sistemas de litografia EUV, fornecendo mais de 200 sistemas de gestão de vácuo e gases de exaustão em todo o mundo. O EUV Vizeon baseia-se nessa experiência como o sistema integrado de suporte sub-fab da Edwards para litografia EUV avançada.
A litografia EUV é usada para fabricar os chips lógicos mais avançados e a memória de alta largura de banda. Depende de vácuo estável, alto caudal de hidrogénio, gestão precisa dos gases de escape e tempo máximo de funcionamento num ambiente de sala limpa e sub-fabrigem rigorosamente controlado. À medida que a EUV passou de uma tecnologia emergente para uma produção em grande volume, as exigências sobre os sistemas sub-fabrigem expandiram-se dramaticamente.
