Co je EUV Vizeon?
EUV Vizeon je navržen tak, aby splňoval dnešní požadavky a zároveň podporoval plány EUV zítřka. Kombinací výroby vakua, řízení vodíku, manipulace s výfukovými plyny a koordinovaného řízení v jedné modulární platformě pomáhá zákazníkům snížit půdorysnou plochu, snížit spotřebu energie a zlepšit produktivitu u současných i budoucích generací EUV.
Integrovaná dílčí výrobní podpora pro EUV nářadí
EUV Vizeon je instalován v dílčím závodě a přímo připojen k výše uvedenému EUV litografickému nářadí. Není to samotné litografické nářadí, ale integrovaný podpůrný systém, který pomáhá efektivně, spolehlivě a bezpečně provozovat nářadí. Platforma koordinuje výrobu vakua, manipulaci s vodíkem, řízení výfukových plynů a řízení systému v jedné optimalizované architektuře.
Systém EUV Vizeon, vyrobený jako modulární řada integrovaných plátků, kombinuje pokročilé suché vývěvy, Rootsovy vývěvy, řízení výfukových plynů, ředění vodíku a centrální řízení do jednoho koordinovaného systému. Tato modulární konstrukce pomáhá zjednodušit integraci do stísněných prostor v dílně a poskytuje zákazníkům škálovatelné řešení přizpůsobené požadavkům jejich procesů a zařízení.
Systém EUV Vizeon je navržen tak, aby splňoval přísná prostorová omezení předních výrobních závodů se sníženou výškou méně než 2 metry, aby vyhověl globálním požadavkům zákazníků. Snížením půdorysných rozměrů a výšky dílny při současném zachování výkonu pomáhá zákazníkům efektivněji využívat cenný výrobní prostor.
Podívejte se na níže uvedené video s Richardem Salloumem, Senior Product Managerem pro integrované systémy EUV společnosti Edwards, ve kterém se dozvíte více o technologii EUV Vision a souvisejících technologiích
Vlastnosti a výhody:
- Menší půdorysné rozměry pro vyšší efektivitu výroby
- Nižší spotřeba energie
- Vyrobeno pro procesy EUV s vysokým průtokem vodíku
Menší půdorysné rozměry pro vyšší efektivitu výroby
Půdorysné rozměry litografického nástroje EUV mají přímý dopad na náklady na zařízení a produktivitu výroby. U srovnávacího nářadí, jako je EUV, musí zařízení dílčího výrobního závodu obvykle zapadat do stínu podporovaného nářadí. Vzhledem k tomu, že procesy EUV vyžadují více vakua, výfuku a podpůrné infrastruktury, prostorová efektivita se stává kriticky důležitou.
Integrací kritických funkcí do jediné koordinované platformy pomáhá EUV Vizeon snížit půdorys dílčí výroby bez kompromisů v oblasti výkonu. To vytváří větší flexibilitu pro uspořádání továrny, podporuje budoucí růst kapacity a přispívá k nižším celkovým nákladům na vlastnictví.
Nižší spotřeba energie
Výkon potřebný k vytvoření EUV osvětlení je výrazně vyšší než u předchozích generací litografie, což zvyšuje kontrolu každého podpůrného systému ve výrobě. Zákazníci pečlivě sledují náklady na energie, dopad na životní prostředí a celkovou energetickou účinnost pomocných zařízení, jako jsou vakuové systémy.
Systémy Edwards EUV Vizeon zajišťují snížení spotřeby energie vývěvy o 24 % ve srovnání s naší předchozí platformou díky využití nejnovější technologie našich suchých vývěv s nízkým příkonem a vysoce výkonných Rootsových vývěv. Výsledkem je efektivnější systém podpory EUV, který pomáhá zákazníkům snižovat provozní náklady a zároveň podporuje cíle udržitelnosti.
Vyrobeno pro procesy EUV s vysokým průtokem vodíku
Naše nejnovější integrovaná platforma 4. generace, EUV Vizeon, poskytuje výkon potřebný k udržení stabilních úrovní vakua při současném řízení vysokých průtoků vodíku nezbytných pro procesy EUV. Je navržen s ohledem na průtokové rychlosti až 1000 slm a podporuje měnící se potřeby koncových uživatelů i výrobců EUV nářadí.
EUV Vizeon, postavený na osvědčených vakuových technologiích a pokročilé systémové integraci, kombinuje robustní výkon čerpání s koordinovanou manipulací s plynem a řízením. Tento přístup na úrovni systému pomáhá udržovat stabilitu procesu dnes a zároveň podporuje předvídatelnou budoucnost EUV litografie.
Provozuschopnost na maximum
Vysoké kapitálové investice vyžadované pro EUV litografii vyvíjejí intenzivní tlak na výrobce, aby maximalizovali dostupnost a dosáhli přijatelných výnosů. Z hlediska dílčí výroby to znamená, že údržba musí být naplánována tak, aby byla v souladu s plánovanou údržbou systému EUV, kde je to možné.
S vyspělostí systémů EUV a zmenšováním intervalů údržby se neplánované přerušení stává ještě nákladnějším. EUV Vizeon je navržen pro spolehlivost a snadnost servisu, takže vakuová podpora se nestane zúžením výstupu nářadí.
Naše systémy zahrnují vývěvy, které lze vyměnit za provozu, pro zálohování v případě poruchy,a hlavní postupy údržby lze provádět, zatímco systém zůstává online.
Nejnovější údaje potvrzují průměrnou dostupnost 99,9 % v rámci našich integrovaných vakuových a výfukových systémů podporujících procesy EUV.
Bezpečná manipulace s vodíkem v EUV litografii
Bezpečnost v EUV litografii do značné míry závisí na tom, jak jsou řízeny vysoké průtoky vodíku. Konvenční přístupy, jako je řízené spalování nebo ředění dusíkem, mohou přidat významné ekonomické a ekologické náklady, zejména při objemech plynu požadovaných pokročilými procesy EUV.
Společnost Edwards řeší tuto výzvu inovativním přístupem k ředění vzduchem, který je podporován rozsáhlými odbornými znalostmi v oblasti mezí hořlavosti, technologií ředění a průmyslových bezpečnostních norem. Je navržen tak, aby bezpečně spravoval vodík a zároveň zlepšoval účinnost systému.
Udržováním kritické dráhy, kde je směs hořlavá, velmi krátkou a pečlivě monitorovanou, je plyn rychle ředěn na nehořlavé koncentrace, které mohou být poté bezpečně přepravovány továrnou a uvolňovány. Ředění vzduchu eliminuje náklady na palivo a emise uhlíku při kontrolovaném spalování a zabraňuje vysokým nákladům na dusík při ředění.
Udržitelnost a nižší celkové náklady na vlastnictví
Společnost Edwards (jako součást společnosti Atlas Copco) se zavázala používat metodiku definovanou iniciativou Science Based Targets (SBTi) k dosažení svého cíle nulových emisí skleníkových plynů. Patří mezi ně snížení vlastních emisí společnosti Edwards, emisí našich dodavatelů a emisí vyplývajících z používání našich výrobků našimi zákazníky. SBTi podporuje ambiciózní opatření v oblasti klimatu mezi zúčastněnými stranami v odvětví tím, že umožňuje společnostem stanovit cíle snížení emisí pomocí konzistentní, vědecky podložené metodiky.
Udržitelnost je nyní úzce spojena s produktivitou, efektivitou využití a celkovými náklady na vlastnictví v pokročilé výrobě polovodičů. EUV Vizeon je navržen tak, aby snížil dopad infrastruktury podporující EUV na životní prostředí prostřednictvím nižší poptávky po energii, snížené spotřeby energie a rekuperace vodíku. V porovnání s předchozími systémy náš nový integrovaný systém poskytuje snížení celkového energetického ekvivalentu o 49 % spolu s významným snížením ekvivalentu CO2 a emisí skleníkových plynů.
Integrované vakuum, manipulace s vodíkem a řízení pro EUV litografii
Po celá desetiletí hraje společnost Edwards ústřední roli při vývoji a zavádění integrovaných subsystémů EUV litografie a dodává po celém světě více než 200 vakuových systémů a systémů řízení výfukových plynů. EUV Vizeon staví na těchto zkušenostech jako integrovaný systém podpory subfab společnosti Edwards pro pokročilou EUV litografii.
EUV litografie se používá k výrobě nejpokročilejších logických čipů a paměti s vysokou šířkou pásma. Závisí na stabilním vakuu, vysokém průtoku vodíku, přesném řízení výfukových plynů a maximální provozuschopnosti v přísně kontrolovaném čistém prostředí a prostředí dílčích továren. Jak se EUV přesunula od nově vznikající technologie k velkoobjemové výrobě, požadavky na systémy dílčích továren se dramaticky rozšířily.