Desempenho de vácuo inigualável e eficiência no consumo de energia
Os sistemas de bomba criogênica IS da Edwards CTI-Cryogenics utilizam tecnologia inovadora e de alta eficiência para fornecer desempenho de vácuo e eficiência energética incomparáveis.
Um sistema de controle distribuído patenteado monitora e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema de bomba criogênica para manter o desempenho de vácuo ideal em todo o sistema para uma consistência de processo excepcional. As bombas criogênicas IS integradas oferecem o maior tempo de atividade, a melhor produtividade e o menor custo total de propriedade de qualquer sistema de bomba criogênica disponível atualmente, com o apoio da rede de suporte e serviço global altamente responsiva da Edwards.
IS XP
A bomba criogênica On-Board® IS XP oferece maior capacidade para aplicações de PVD para alcançar a produtividade máxima, mantendo a transparência do processo. Ao mesmo tempo, ele aproveita a eficiência energética comprovada, o desempenho consistente e o baixo custo de propriedade que você espera do IS On-Board®.
- Fornece maior capacidade para futuras melhorias de processo
- Custo menor de propriedade
- Maior tempo de atividade
- Tecnologia inteligente de "autoajuste" para um desempenho de vácuo consistente
Bomba criogênica IS 320FX
A bomba criogênica On-Board® IS 320FX, desenvolvida especificamente para lidar com os desafios dosprocessos de implante de íons atuais, fornece velocidade ecapacidade de bombeamento de hidrogênio aprimoradas, mantendo a qualidade, o desempenho e a confiabilidade que você espera.
- Projetado especificamente para aplicações de implante de íons
- Otimizado para a produtividade da ferramenta
- Tecnologia inteligente de "autoajuste"
- Custo menor de propriedade
- Aumento do tempo de atividade
Bomba criogênica On-Board® IS 320F XVS
Alcance novos níveis de desempenho de bombas criogênicas
A bomba criogênica CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mantém a tradição da Edwards de fornecer as bombas criogênicas de implante mais confiáveis e de melhor desempenho do mercado.
