Prestasi vakum dan kecekapan tenaga yang tiada tandingan
Sistem cryopump Edwards CTI-Cryogenics IS menggunakan teknologi inovatif dan berkecekapan tinggi untuk menyediakan prestasi vakum yang tiada tandingan serta kecekapan tenaga yang unggul.
Sistem kawalan teragih yang dipatenkan memantau dan sentiasa melaraskan elemen individu sistem cryopump untuk mengekalkan prestasi vakum optimum di seluruh sistem bagi konsistensi proses yang luar biasa. Cryopump IS On-Board memberikan masa operasi tertinggi, produktiviti terbaik, dan kos pemilikan keseluruhan terendah bagi mana-mana sistem cryopump yang tersedia hari ini, disokong oleh rangkaian perkhidmatan dan sokongan global Edwards yang sangat responsif.
ADALAH XP
Cryopump On-Board® IS XP menawarkan kapasiti yang meningkat untuk aplikasi PVD bagi mencapai produktiviti maksimum sambil mengekalkan ketelusan proses. Pada masa yang sama, ia memanfaatkan kecekapan tenaga yang terbukti, prestasi yang konsisten dan kos pemilikan yang rendah yang anda jangkakan daripada On-Board® IS.
- Menyediakan kapasiti tambahan untuk penambahbaikan proses masa depan
- Kos pemilikan yang lebih rendah
- Masa operasi yang meningkat
- Teknologi "penyesuaian sendiri" pintar untuk prestasi vakum yang konsisten
Pam Beku IS 320FX
Cryopump On-Board® IS 320FX, yang dibangunkan khusus untuk menangani cabaran proses Ion Implant hari ini, menyediakan kelajuan dan kapasiti pam hidrogen yang dipertingkatkan, sambil mengekalkan kualiti, prestasi dan kebolehpercayaan yang anda jangkakan.
- Direka khusus untuk aplikasi Implan Ion
- Dioptimumkan untuk hasil alat
- Teknologi "penyesuaian diri" yang pintar
- Kos pemilikan yang lebih rendah
- Masa operasi yang meningkat
Pam Cryo On-Board® IS 320F XVS
Capai tahap prestasi cryopump yang baru
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump mengekalkan tradisi Edwards dalam menyediakan cryopump implantasi yang paling boleh dipercayai dan berprestasi terbaik di pasaran.
