Uovertruffen vakuumydelse og energieffektivitet
Edwards CTI-Cryogenics IS-kryopumpesystemer udnytter innovativ, højeffektiv teknologi til at levere uovertruffen vakuumydelse og energieffektivitet.
Et patenteret distribueret styresystem overvåger og justerer konstant de enkelte elementer i kryopumpesystemet for at opretholde optimal vakuumydelse i hele systemet og dermed sikre exceptionel proceskonsistens. Indbyggede IS-kryopumper leverer den højeste oppetid, den bedste produktivitet og de laveste samlede ejerskabsomkostninger for ethvert cryopumpesystem, der er tilgængeligt i dag, understøttet af Edwards’ meget responsive globale service- og supportnetværk.
IS XP
On-Board® IS XP-kryopumpen leverer øget kapacitet til PVD-anvendelser for at opnå maksimal produktivitet, samtidig med at procesgennemsigtigheden opretholdes. Samtidig udnytter den den dokumenterede energieffektivitet, ensartede ydeevne og lave ejeromkostninger, du forventer af On-Board® IS.
- Leverer kapacitetsoverhead til fremtidige procesforbedringer
- Lavere ejerskabsomkostninger
- Øget oppetid
- Intelligent "selvjusterende" teknologi for ensartet vakuumydelse
IS 320FX kryopumpe
On-Board® IS 320FX-kryopumpen, der er udviklet specifikt til at håndtere udfordringerne i nutidens ionimplantatprocesser, giver forbedret brintpumpehastighed ogkapacitet, samtidig med at den kvalitet, ydeevne og pålidelighed, du forventer, opretholdes.
- Specielt designet til ionimplantatapplikationer
- Optimeret til værktøjsgennemløb
- Intelligent "selvjusterende" teknologi
- Lavere ejerskabsomkostninger
- Øget oppetid
On-Board® IS 320F XVS-kryopumpe
Opnå nye niveauer af kryopumpeydeevne
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump fortsætter Edwards’ tradition med at levere de mest pålidelige og højtydende implantat-kryopumper på markedet.
