Vertaansa vailla oleva imuteho ja energiatehokkuus
Edwardsin CTI-Cryogenics IS -kryopumppujärjestelmissä hyödynnetään innovatiivista, erittäin tehokasta tekniikkaa, joka tarjoaa vertaansa vailla olevaa tyhjiötehoa ja energiatehokkuutta.
Patentoitu hajautettu ohjausjärjestelmä valvoo ja säätää jatkuvasti kryopumppujärjestelmän yksittäisiä elementtejä, jotta koko järjestelmän optimaalinen tyhjiöteho säilyy ja prosessi pysyy poikkeuksellisen tasaisena. Kiinteät IS-kryopumput tarjoavat suurimman käytettävyysajan, parhaan tuottavuuden ja alhaisimmat kokonaiskustannukset nykyisin saatavilla oleviin kryopumppujärjestelmiin. Niitä tukee Edwardsin nopeasti reagoiva maailmanlaajuinen huolto- ja tukiverkosto.
IS XP
On-Board® IS XP -kryopumppu tarjoaa suuremman kapasiteetin PVD-sovelluksiin maksimaalisen tuottavuuden saavuttamiseksi ja prosessin läpinäkyvyyden säilyttämiseksi. Samalla se hyödyntää On-Board® IS:n todistettua energiatehokkuutta, tasaista suorituskykyä ja alhaisia omistajuuskustannuksia.
- Tarjoaa kapasiteetin yleiskustannuksia tulevia prosessiparannuksia varten
- Alhaiset kokonaiskustannukset
- Pidempi käyttöaika
- Älykäs itsesäätyvä tekniikka takaa tasaisen imutehon
IS 320FX -kryopumppu
On-Board® IS 320FX -kryopumppu, joka on kehitetty erityisesti vastaamaannykypäivän ioni-implanttiprosessien haasteisiin, tarjoaa paremman vedyn pumppausnopeuden jakapasiteetin säilyttäen samalla odotetun laadun, suorituskyvyn ja luotettavuuden.
- Suunniteltu erityisesti ioni-implanttisovelluksiin
- Optimoitu työkalujen tuottavuutta varten
- Älykäs itsesäätyvä tekniikka
- Alhaiset kokonaiskustannukset
- Pidempi huoltoväli
On-Board® IS 320F XVS -kryopumppu
Saavuta kryopumppujen uusi suorituskykytaso
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F -kryopumppu jatkaa Edwardsin perinnettä toimittaa markkinoiden luotettavimpia ja tehokkaimpia implanttikryopumppuja.
