無與倫比的真空效能和能源效率
愛德華 CTI-Cryogenics IS 低溫泵浦系統善用創新的高效率技術，提供無與倫比的真空效能和能源效率。
獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件，以保持最佳的全系統真空效能，進而實現出色的製程穩定性。藉由愛德華反應快速的全球服務和支援網路，On-Board IS 低溫泵浦可為現今任一可用的低溫泵浦系統實現最高運轉時間、最佳生產力以及最低的總持有成本。
IS XP
On-Board® IS XP 低溫泵浦為 PVD 應用提供更高的容量，以達到最高的生產力，同時保持製程透明度。同時，它還能充分利用您所期望的 On-Board® IS 的經驗證的能源效率、一致的效能和低擁有成本。
- 為未來的製程改良提供容量餘裕
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
- 確保穩定真空效能的智慧型「自行調整」技術
IS 320FX 低溫泵浦
On-Board® IS 320FX 低溫泵浦專為解決現今離子植入流程的挑戰而開發，可提供增強的氫氣抽氣速度和容量，同時維持您所期望的品質、效能和可靠性。
- 專為離子佈植應用所設計
- 專為工具吞吐量最佳化所設計
- 智慧型「自行調整」技術
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
On-Board® IS 320F XVS 低溫泵浦
達到全新境界的低溫泵浦效能
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F 低溫泵浦維持愛德華提供市面上最可靠、效能最佳之植入式低溫泵浦的傳統。
