Emsalsiz vakum performansı ve enerji verimliliği
Edwards CTI-Cryogenics IS kriyopomp sistemleri, benzersiz vakum performansı ve enerji verimliliği sağlamak için yenilikçi, yüksek verimli teknoloji kullanır.
Patentli dağıtılmış kontrol sistemi, olağanüstü proses tutarlılığı için optimal sistem genelinde vakum performansını korumak amacıyla kriyopomp sisteminin bireysel elemanlarını izler ve sürekli olarak ayarlar. On-Board IS kriyopomplar, bugün mevcut olan herhangi bir kriyopomp sisteminin en yüksek çalışma süresini, en iyi verimliliğini ve en düşük toplam sahip olma maliyetini sunar; bu, Edwards'ın son derece duyarlı küresel servis ve destek ağı tarafından desteklenmektedir.
IS XP
On-Board® IS XP Cryopump, süreç şeffaflığını korurken maksimum verimlilik elde etmek için PVD uygulamalarında artırılmış kapasite sunar. Aynı zamanda, On-Board® IS'ten beklediğiniz kanıtlanmış enerji verimliliği, tutarlı performans ve düşük sahip olma maliyetinden yararlanır.
- Gelecekteki süreç iyileştirmeleri için kapasite fazlası sağlar
- Düşük sahip olma maliyeti
- Artan çalışma süresi
- Tutarlı vakum performansı için akıllı “kendini ayarlayan” teknoloji
IS 320FX Kriyopomp
On-Board® IS 320FX Kriyopomp, günümüzün İyon İmplant süreçlerinin zorluklarını özel olarak ele almak üzere geliştirilmiş olup, beklediğiniz kalite, performans ve güvenilirliği korurken artırılmış hidrojen pompalama hızı ve kapasitesi sunar.
- İyon İmplant uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır
- Araç verimliliği için optimize edilmiştir
- Akıllı “kendini ayarlayan” teknoloji
- Düşük sahip olma maliyeti
- Daha uzun işletim süresi
On-Board® IS 320F XVS Kriyopomp
Kriyopompa performansında yeni seviyelere ulaşın
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump, Edwards’ın piyasadaki en güvenilir ve en yüksek performanslı implant kriyopompalarını sunma geleneğini sürdürmektedir.
