Ongeëvenaarde vacuümprestaties en energie-efficiëntie
Edwards CTI-Cryogenics IS cryopompsystemen maken gebruik van innovatieve, hoogefficiënte technologie om ongeëvenaarde vacuümprestaties en energie-efficiëntie te bieden.
Een gepatenteerd gedistribueerd regelsysteem bewaakt en past voortdurend individuele elementen van het cryopompsysteem aan om optimale vacuümprestaties over het gehele systeem te behouden voor uitzonderlijke procesconsistentie. On-Board IS cryopompen bieden de hoogste beschikbaarheid, beste productiviteit en laagste totale eigendomskosten van elk cryopompsysteem dat vandaag beschikbaar is, ondersteund door het zeer responsieve wereldwijde service- en ondersteuningsnetwerk van Edwards.
IS XP
De On-Board® IS XP Cryopomp biedt een verhoogde capaciteit voor PVD-toepassingen om maximale productiviteit te bereiken, terwijl de procesdoorzichtigheid behouden blijft. Tegelijkertijd profiteert u van de bewezen energie-efficiëntie, consistente prestaties en lagere totale eigendomskosten die u van de On-Board® IS gewend bent.
- Biedt capaciteitsreserve voor toekomstige procesverbeteringen
- Lagere totale eigendomskosten
- Minder uitvaltijd
- Intelligente "zelfaanpassende" technologie voor consistente vacuümprestaties
IS 320FX Cryopomp
De On-Board® IS 320FX Cryopomp, speciaal ontwikkeld om de uitdagingen van de huidige Ion Implantatieprocessen aan te pakken, biedt een verbeterde waterstofpompsnelheid en capaciteit, terwijl de kwaliteit, prestaties en betrouwbaarheid behouden blijven die u gewend bent.
- Speciaal ontworpen voor Ion Implant-toepassingen
- Geoptimaliseerd voor gereedschapsdoorvoer
- Intelligente "zelfaanpassende" technologie
- Lagere totale eigendomskosten
- Minder uitvaltijd
On-Board® IS 320F XVS Cryopomp
Bereik nieuwe niveaus van cryopomp-prestaties
De CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopomp zet de traditie van Edwards voort in het leveren van de meest betrouwbare en best presterende implantatie-cryopompen op de markt.
