ประสิทธิภาพของปั๊มแช่เย็นในระดับใหม่
ปั๊มแช่แข็ง CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F รักษาประเพณีของ Edwards ในการส่งมอบปั๊มแช่แข็งแบบฝังที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพดีที่สุดในตลาด
ปั๊มแบบเย็น On-Board® 320F XVS ได้รับการออกแบบมาเพื่อส่งมอบประสิทธิภาพการปั๊มไฮโดรเจนสูงสุดเพื่อผลผลิตและปริมาณงานในกระบวนการที่ดีขึ้น ซึ่งเป็นคําตอบที่สมบูรณ์แบบสําหรับความท้าทายในการใช้งานการปลูกถ่ายไอออนในปัจจุบัน การควบคุมระบบอัจฉริยะที่ผสานรวมอยู่ในปั๊มแช่แข็งช่วยให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพของกระบวนการ ความสม่ําเสมอของสุญญากาศ และเวลาทํางานของเครื่องที่ดีขึ้น ในขณะที่ให้ข้อมูลระบบแบบเรียลไทม์สําหรับการควบคุมอุณหภูมิอาร์เรย์ที่ดีที่สุด คุณภาพของสุญญากาศจะได้รับการปรับปรุงโดยการปรับอัตโนมัติให้เข้ากับสภาวะการโหลดความร้อน/ก๊าซที่เปลี่ยนแปลง
คุณสมบัติและคุณประโยชน์
ประสิทธิภาพสุญญากาศที่เสถียร:
- ความผันแปรของความเร็วในการปั๊ม H2 ลดลงระหว่างการปรับสภาพ
- ลดผลกระทบต่อความเร็วในการปั๊ม H2 เนื่องจากการปนเปื้อนของ Photoresist
- อุณหภูมิอาร์เรย์ที่เสถียรและเหมาะสมที่สุด
ประสิทธิภาพสุญญากาศที่ดีขึ้น:
- ความเร็วในการปั๊ม H2 สูง-15,500 L/S
- ความจุ H2 สูง - 40 STD-L
ความเข้ากันได้:
- ระบบปั๊มแช่แข็ง IS แบบออนบอร์ด
- เครื่องอัดอากาศหรือปั๊มลม IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
