Rendimiento de vacío y eficiencia energética inigualables
Los sistemas de bombas criogénicas IS CTI-Cryogenics de Edwards aprovechan una tecnología innovadora y de alta eficiencia para proporcionar un rendimiento de vacío y una eficiencia energética inigualables.
Un sistema de control distribuido patentado supervisa y ajusta constantemente los elementos individuales del sistema de bomba criogénica para mantener un rendimiento de vacío óptimo en todo el sistema y lograr una uniformidad excepcional del proceso. Las bombas criogénicas IS integradas ofrecen el mayor tiempo de actividad, la mejor productividad y el menor coste total de propiedad de cualquier sistema de bombas criogénicas disponible hoy en día, respaldadas por la red mundial de servicio y asistencia técnica de Edwards.
IS XP
La bomba criogénica On-Board® IS XP ofrece una mayor capacidad para aplicaciones de PVD para lograr la máxima productividad manteniendo la transparencia del proceso. Al mismo tiempo, aprovecha la eficiencia energética probada, el rendimiento constante y el bajo coste de propiedad que cabe esperar del IS On-Board®.
- Proporciona gastos generales de capacidad para futuras mejoras de procesos
- Menor coste de propiedad
- Mayor tiempo de actividad
- Tecnología inteligente de “autoajuste” para un rendimiento de vacío constante
Bomba criogénica IS 320FX
La bomba criogénica On-Board® IS 320FX, desarrollada específicamente para hacer frente a los retos de los procesos de implante de iones actuales, proporciona una velocidad ycapacidad de bombeo de hidrógeno mejoradas, a la vez que mantiene la calidad, el rendimiento y la fiabilidad que ha venido a esperar.
- Diseñado específicamente para aplicaciones de implantes de iones
- Optimizado para el rendimiento de la herramienta
- Tecnología inteligente de "autoajuste
- Menor coste de propiedad
- Mayor tiempo de actividad
Bomba criogénica On-Board® IS 320F XVS
Alcance nuevos niveles de rendimiento de la bomba criogénica
La bomba criogénica CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mantiene la tradición de Edwards de ofrecer las bombas criogénicas para implantes más fiables y de mejor rendimiento del mercado.
