Páratlan vákuumteljesítmény és energiahatékonyság
Az Edwards CTI-Cryogenics IS krioszivattyú-rendszerei innovatív, nagy hatékonyságú technológiát alkalmaznak, hogy páratlan vákuumteljesítményt és energiahatékonyságot biztosítsanak.
A szabadalmaztatott elosztott vezérlőrendszer felügyeli és folyamatosan beállítja a krioszivattyú-rendszer egyes elemeit, hogy fenntartsa az optimális rendszerszintű vákuumteljesítményt a kivételes folyamatkonzisztencia érdekében. Az On-Board IS krioszivattyúk a legmagasabb rendelkezésre állási időt, a legjobb termelékenységet és a legalacsonyabb teljes tulajdonlási költséget biztosítják a jelenleg elérhető krioszivattyú-rendszerek közül, az Edwards rendkívül gyorsan reagáló globális szerviz- és támogatási hálózatának támogatásával.
IS XP
Az On-Board® IS XP krioszivattyú megnövelt kapacitást biztosít a PVD-alkalmazások számára a maximális termelékenység elérése érdekében, miközben fenntartja a folyamat átláthatóságát. Ugyanakkor kihasználja az On-Board® IS-től elvárt bizonyított energiahatékonyságot, állandó teljesítményt és alacsony tulajdonlási költséget.
- Kapacitást biztosít a jövőbeli folyamatfejlesztéshez
- Alacsonyabb fenntartási költségek
- Megnövelt üzemidő
- Intelligens „önbeállító” technológia az egyenletes vákuumteljesítményért
IS 320FX krioszivattyú
Az On-Board® IS 320FX krioszivattyút kifejezetten a mai ionimplantátum-folyamatok kihívásaira fejlesztették ki, és fokozott hidrogénszivattyúzási sebességet éskapacitást biztosít, miközben fenntartja az elvárt minőséget, teljesítményt és megbízhatóságot.
- Kifejezetten ionimplantátum-alkalmazásokhoz tervezve
- Szerszámátbocsátásra optimalizálva
- Intelligens „önbeállító” technológia
- Alacsonyabb fenntartási költségek
- Megnövelt megszakításmentes üzemidő
On-Board® IS 320F XVS krioszivattyú
Érjen el új szintet a krioszivattyú teljesítményében
A CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F cryopump az Edwards hagyományát követi a piacon elérhető legmegbízhatóbb és legteljesítményesebb beültethető cryopumpák szállításában.
