Desempenho de vácuo e eficiência energética incomparáveis
Os sistemas de criopump Edwards CTI-Cryogenics IS utilizam tecnologia inovadora e de alta eficiência para proporcionar desempenho de vácuo e eficiência energética incomparáveis.
Um sistema de controlo distribuído patenteado monitoriza e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema de criopump para manter um desempenho de vácuo ótimo em todo o sistema, garantindo uma consistência excecional do processo. Os criopumps On-Board IS oferecem o maior tempo operacional, a melhor produtividade e o menor custo total de propriedade de qualquer sistema de criopump disponível atualmente, suportados pela rede global de serviço e suporte altamente responsiva da Edwards.
IS XP
O Criopump On-Board® IS XP oferece maior capacidade para aplicações PVD, alcançando máxima produtividade enquanto mantém a transparência do processo. Ao mesmo tempo, aproveita a comprovada eficiência energética, desempenho consistente e menor custo de propriedade que você espera do On-Board® IS.
- Fornece capacidade adicional para futuras melhorias de processo
- Menor custo de propriedade
- Maior tempo operacional
- Tecnologia inteligente "autoajustável" para desempenho consistente de vácuo
Criobomba IS 320FX
O Criobomba On-Board® IS 320FX, desenvolvido especificamente para enfrentar os desafios dos processos atuais de Implantação Iónica, oferece uma velocidade e capacidade de bombagem de hidrogénio aprimoradas, mantendo a qualidade, desempenho e fiabilidade que você espera.
- Especificamente concebido para aplicações de Implantação Iónica
- Otimizado para rendimento da ferramenta
- Tecnologia inteligente "autoajustável"
- Menor custo de propriedade
- Maior tempo operacional
Criopump On-Board® IS 320F XVS
Alcance novos níveis de desempenho em criobombas
O Criopump On-Board IS XVS 320F da CTI-Cryogenics mantém a tradição da Edwards de fornecer os criopumps de implante mais fiáveis e com melhor desempenho no mercado.
