Unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz
Die Kryopumpensysteme Edwards CTI-Cryogenics IS bedienen sich innovativer, hocheffizienter Technologien, um unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz zu erreichen.
Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Edwards.
IS XP
Die On-Board® IS XP Kryopumpe bietet eine erhöhte Kapazität für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität bei gleichbleibender Prozesstransparenz zu erreichen. Gleichzeitig profitieren Sie von der bewährten Energieeffizienz, der konsistenten Leistung und den niedrigen Betriebskosten, die Sie von On-Board® IS erwarten.
- Verfügt über Kapazitätsreserven für zukünftige Prozessverbesserungen
- Niedrige Gesamtbetriebskosten
- Höhere Betriebszeit
- Intelligente „selbstanpassende“ Technologie für konsistente Vakuumleistung
Kryopumpe IS 320FX
Die On-Board® IS 320FX Kryopumpe wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionenimplantatprozesse entwickelt und bietet eine verbesserte Wasserstoffpumpgeschwindigkeit und -kapazität bei gleichbleibender Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit.
- Speziell für Ionen-Implantationsanwendungen entwickelt
- Optimiert für den Tool-Durchsatz
- Intelligente „selbstanpassende“ Technologie
- Niedrige Gesamtbetriebskosten
- Höhere Betriebszeit
Kryopumpe On-Board® IS 320F XVS
Neue Leistungsniveaus für Kryopumpen
Die CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F-Kryopumpe führt die Tradition von Edwards bei der Bereitstellung der zuverlässigsten und leistungsfähigsten Implantations-Kryopumpen auf dem Markt fort.
