Niezrównana wydajność próżniowa i efektywność energetyczna
Systemy pomp kriogenicznych Edwards CTI-Cryogenics IS wykorzystują innowacyjną, wysoko wydajną technologię, zapewniając niezrównaną wydajność próżni oraz efektywność energetyczną.
Patentowany rozproszony system sterowania monitoruje i nieustannie dostosowuje poszczególne elementy systemu kriopomp, aby utrzymać optymalną wydajność próżni w całym systemie, zapewniając wyjątkową spójność procesu. Kriopompy On-Board IS oferują najwyższą dostępność, najlepszą produktywność oraz najniższe całkowite koszty posiadania spośród wszystkich dostępnych dziś systemów kriopomp, wspierane przez wysoce responsywną globalną sieć serwisową i wsparcie firmy Edwards.
IS XP
Cryopompa On-Board® IS XP oferuje zwiększoną wydajność dla zastosowań PVD, aby osiągnąć maksymalną produktywność przy jednoczesnym zachowaniu przejrzystości procesu. Jednocześnie wykorzystuje sprawdzoną energooszczędność, stałą wydajność oraz mniejsze koszty eksploatacji, których oczekujesz od On-Board® IS.
- Zapewnia nadmiar mocy przerobowej na potrzeby przyszłych usprawnień procesów
- Mniejsze koszty eksploatacji
- Większa dostępność
- Inteligentna technologia „samoregulacji” dla stałej wydajności próżniowej
Pompa kriogeniczna IS 320FX
Cryopompka On-Board® IS 320FX, opracowana specjalnie z myślą o wyzwaniach współczesnych procesów implantacji jonów, zapewnia zwiększoną prędkość i pojemność pompowania wodoru, jednocześnie utrzymując jakość, wydajność i niezawodność, których oczekujesz.
- Specjalnie zaprojektowany do zastosowań w implantacji jonowej
- Optymalizowany pod kątem przepustowości narzędzi
- Inteligentna technologia „samoregulacji”
- Mniejsze koszty eksploatacji
- Mniej przestojów
On-Board® IS 320F XVS Cryopompa
Osiągnij nowe poziomy wydajności pompy kriogenicznej
Cryopomp CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F podtrzymuje tradycję firmy Edwards, dostarczając najbardziej niezawodne i najlepiej działające cryopompy implantacyjne na rynku.
