Oöverträffad vakuumprestanda och energieffektivitet
Edwards CTI-Cryogenics IS kryopumpsystem använder innovativ högeffektiv teknik för att ge oöverträffad vakuumprestanda och energieffektivitet.
Ett patenterat distribuerat styrsystem övervakar och justerar kontinuerligt enskilda element i kryopumpsystemet för att upprätthålla optimal vakuumprestanda i hela systemet för exceptionell processkonsistens. Inbyggda IS-kryopumpar levererar den högsta drifttiden, bästa produktiviteten och lägsta totala ägandekostnaden för alla kryopumpsystem som finns tillgängliga idag, med stöd av Edwards snabba globala service- och supportnätverk.
IS XP
On-Board® IS XP Cryopump ger ökad kapacitet för PVD-tillämpningar för att uppnå maximal produktivitet samtidigt som processtransparensen upprätthålls. Samtidigt utnyttjar den den beprövade energieffektiviteten, konsekventa prestandan och låga ägandekostnaden som du förväntar dig av On-Board® IS.
- Tillhandahåller kapacitetsöverhead för framtida processförbättringar
- Lägre ägandekostnad
- Ökad drifttid
- Intelligent ”självjusterande” teknik för konsekvent vakuumprestanda
IS 320FX kryopump
On-Board® IS 320FX kryopump, som har utvecklats specifikt för att möta utmaningarna med dagens jonimplantatprocesser, ger förbättrad vätgaspumpningshastighet ochkapacitet, samtidigt som du bibehåller den kvalitet, prestanda och tillförlitlighet, driftsäkerhet som du förväntar dig.
- Speciellt utformad för jonimplantattillämpningar
- Optimerad för verktygsgenomströmning
- Intelligent ”självjusterande” teknik
- Lägre ägandekostnad
- Ökad driftstid
On-Board® IS 320F XVS kryopump
Uppnå nya prestandanivåer för kryopumpar
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F Cryopump fortsätter Edwards tradition av att leverera de mest tillförlitliga och högpresterande implantatkryopumparna på marknaden.
