독보적인 진공 성능 및 에너지 효율성
Edwards CTI-Cryogenics IS 크라이오 펌프 시스템은 혁신적인 고효율 기술을 이용하여 타의 추종을 불허하는 진공 성능과 에너지 효율성을 제공합니다.
특허 받은 분산 제어 시스템은 크라이오 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전체의 진공 성능을 최적으로 유지하여 공정의 일관성을 보장합니다. On-Board IS 크라이오 펌프는 최상의 가동 시간, 최고의 생산성 및 현존하는 크라이오 펌프 시스템 중 가장 낮은 총 소유 비용을 자랑하며, Edwards의 뛰어난 글로벌 서비스 및 네트워크 지원이 보장됩니다.
IS XP
On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 공정 투명성을 유지하면서 최대 생산성을 달성하기 위해 PVD 애플리케이션 용량을 증가시킵니다. 동시에 On-Board® IS에서 기대할 수 있는 입증된 에너지 효율, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다.
- 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
- 낮은 소유 비용
- 길어진 가동 시간
- 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 "자가 조정" 기술
IS 320FX 크라이오 펌프
오늘날의 이온 임플란트 공정의 과제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 기대했던 품질, 성능 및 신뢰성을 유지하면서 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공합니다.
- 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
- 공구 처리량에 최적화
- 똑똑한 "자가 조정" 기술
- 낮은 소유 비용
- 가동 시간 증가
On-Board® IS 320F XVS 크라이오 펌프
새로운 수준의 크라이오 펌프 성능에 도달
CTI-cryogenics On-Board IS XVS 320F 크라이오 펌프는 업계에서 가장 안정적이고 성능이 뛰어난 임플란트 크라이오 펌프를 제공하는 데 있어 Edwards의 전통을 유지하고 있습니다.
